分子束外延系統是一種用于物理學、化學、材料科學領域的分析儀器。分子束外延(MBE)是一種新的晶體增長技術,是在超高真空環境下,使具有一定熱能的一種或多種分子(原子)束流噴射到晶體襯底,在襯底表面發生反應的過程。作為新外延制膜方法,分子束外延具有束流強度易控制、襯底溫度低、膜層生長速率慢、可實現選擇性外延生長等優勢。
根據新思界產業研究中心發布的《
2022-2026年中國分子束外延系統行業市場行情監測及未來發展前景研究報告》顯示,受新冠肺炎疫情影響,歐美地區企業開工率下滑,分子束外延系統市場規模隨之下降,2020年市場規模在81.5百萬美元左右。在全球經濟復蘇背景下,預計2022-2026年,分子束外延系統市場將處于增長趨勢,并將于2026年達到110.0百萬美元。
分子束外延系統是半導體、光伏新材料、科學研發領域重要設備之一,近年來,隨著半導體、新材料等行業發展,分子束外延系統市場需求不斷釋放。在全球范圍內,分子束外延系統市場主要集中在歐洲、北美、日本等地區,其中歐洲是全球最大的分子束外延系統生產地。近年來,隨著新興經濟體對基礎研究重視度提升,印度、中國以及東南亞國家對分子束外延系統的需求增長較快,以上地區具有較大市場潛力。
分子束外延系統市場集中度較高,頭部企業有美國Veeco、芬蘭DCA、法國Riber、日本Pascal、荷蘭TSST等。我國分子束外延系統研究起步較晚,且早期由于國外技術封鎖,分子束外延系統研發進程較緩慢,目前國內從事研發和生產分子束外延系統的企業或機構有中科院半導體所、上海冶金所、沈陽科儀、國成儀器等。
根據類型不同,分子束外延系統可分為普通型、激光型,其中普通型分子束外延系統是市場主流產品,市場占比超過七成。激光分子束外延系統是基于傳統的分子束外延系統和脈沖激光沉積系統(PLD)發展起來的,其屬于高端薄膜制備設備,未來應用前景更廣闊。
新思界
行業分析人士表示,分子束外延系統是半導體、新材料、科研領域重要設備之一,我國具有分子束外延系統生產能力的企業較少,市場需求仍依賴進口,且受技術、研發水平限制,目前國產分子束外延系統在可靠性、穩定性、配套設備等方面與國外品牌仍存在一定差距,國內企業亟需提升產品價值以搶占市場。