雙擴散金屬氧化物半導體簡稱DMOS,是MOS管的一種。MOS管全稱為金屬氧化物半導體場效應管,又稱為MOSFET,是一種利用改變電壓來控制電流的半導體器件。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年雙擴散金屬氧化物半導體(DMOS)行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示,MOS管在汽車電子、消費電子、通訊等領域應用廣泛,其中汽車電子是主要應用領域,2023年占比達24.0%以上。近年來,MOS管發展迅速,2023年我國MOS管市場規模達50億美元以上。DMOS作為其細分產品,市場規模也處于增長態勢。
根據溝道方向不同,DMOS分為垂直雙擴散金屬氧化物半導體(VDMOS)、橫向雙擴散金屬氧化物半導體(LDMOS),兩者各具特點。VDMOS具有垂直溝道,擊穿電壓和電流處理能力更高,但導通電阻較大;LDMOS具有橫向溝道,相比于VDMOS器件,其導通電阻更低、開關速度更快。
VDMOS分為常規VDMOS和超結VDMOS,其中超結VDMOS是在常規VDMOS基礎上,引入超結結構得到。超結VDMOS主要有多次外延工藝、深槽刻蝕加摻雜工藝兩種實現方式。多次外延工藝難度較低,但超結結構需要多次外延和光刻,導致其制造成本較高;深槽刻蝕加摻雜工藝成本低,根據摻雜方式不同,其分為深槽刻蝕加外延填充、深槽刻蝕加斜角注入摻雜、深槽刻蝕加氣相摻雜等工藝。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年中國垂直雙擴散金屬氧化物半導體(超結VDMOS)行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示,超結VDMOS具有低電阻、高導通能力、開關速度快、熱穩定性好等特點,在高功率電子器件中應用廣泛,目前已在電動工具、噴墨打印、電源開關、消費電子、汽車電子、通訊電源等產品中得到廣泛應用。
導通電阻、擊穿電壓、開啟電壓、柵源漏電等是MOS管的關鍵參數,由于其通態功耗較高,導通電阻受擊穿電壓限制而存在“硅極限”。超結VDMOS克服了MOS管存在的導通電阻隨擊穿電壓急劇增大的問題,系統效率更高,隨著需求升級,未來超結VDMOS應用將更加廣泛。
全球范圍內,DMOS相關企業有安森美半導體公司、意法半導體公司、英飛凌科技、Wolfspeed公司、Fairchild公司、富士電機、上海華虹半導體、龍騰半導體等。
新思界
行業分析人士表示,DMOS出現于上世紀70年代,憑借其優勢,DMOS在消費電子、汽車電子、噴墨打印、電源開關等領域得到了廣泛應用。我國是全球電子器件制造中心,DMOS市場需求空間廣闊,尤其是超結VDMOS。經過不斷發展,國產DMOS與進口DMOS之間的差距逐漸縮小,但在高端DMOS領域,國外企業仍具有明顯競爭優勢。