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          雙(叔丁基氨基)硅烷(BTBAS)應用空間廣闊 生產(chǎn)工藝需進一步優(yōu)化

          2024-09-12 17:34      責任編輯:王昭    來源:www.heb-baidu.cn    點擊:
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          雙(叔丁基氨基)硅烷(BTBAS)應用空間廣闊 生產(chǎn)工藝需進一步優(yōu)化

            雙(叔丁基氨基)硅烷,簡稱BTBAS,室溫下呈無色透明液體,在空氣中具有高揮發(fā)性,易燃,須在惰性氣體保護下儲存。雙(叔丁基氨基)硅烷具有較高反應活性,可應用在半導體、表面處理、涂料等領域。

            半導體是雙(叔丁基氨基)硅烷主要需求領域,作為先進硅基前驅體材料,雙(叔丁基氨基)硅烷可用于在較低溫度下沉積氮化硅和氧化硅薄膜,制備半導體器件。雙(叔丁基氨基)硅烷是氨基硅烷前驅體中反應活性較高的一種前驅體,由于其Si-N鍵相對較弱,可使硅原子有效地參與到薄膜的生長過程中,提高氣相沉積(CVD)、原子層沉積(ALD)等薄膜沉積工藝速率和效率。

            目前國內雙(叔丁基氨基)硅烷制備方法報道較少,主要途徑有以氮氣或惰性氣體為載氣,將二氯硅烷蒸氣與液態(tài)叔丁胺反應,在無水條件下,經(jīng)過攪拌、過濾、膜分離、蒸發(fā)和精餾等工藝得到高純產(chǎn)品,或在惰性氣體及有機溶劑存在下,加入二氯氫硅和功能催化劑,攪拌降溫后加入叔丁基氨反應,完成反應后過濾雜質得到成品。

            根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2024-2028年中國雙(叔丁基氨基)硅烷(BTBAS)市場行情監(jiān)測及未來發(fā)展前景研究報告》顯示,近年來,我國晶圓產(chǎn)能呈逐漸擴展態(tài)勢,帶動雙(叔丁基氨基)硅烷市場需求空間持續(xù)擴大。同時隨著沉積層數(shù)增加,市場對前驅體材料的要求不斷提升,電子級高純度雙(叔丁基氨基)硅烷市場需求旺盛。

            雙(叔丁基氨基)硅烷產(chǎn)業(yè)發(fā)展政策環(huán)境良好。如工信部等多部門發(fā)布《關于推動未來產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展的實施意見》,其中提到要發(fā)展先進半導體、高性能碳纖維等關鍵戰(zhàn)略材料。雙(叔丁基氨基)硅烷作為較流行的先進半導體硅基前驅體材料,行業(yè)發(fā)展態(tài)勢將持續(xù)向好。

            在全球市場上,雙(叔丁基氨基)硅烷市場布局企業(yè)包括沃尼克材料北美公司、埃雷茲科技公司、美國AMS、Anhui Botai Electronic Materials、艾佩科(蘇州)電子、江蘇南大光電材料等。我國雙(叔丁基氨基)硅烷市場起步較晚,在生產(chǎn)工藝、純化工藝等方面還需進一步優(yōu)化。

            新思界行業(yè)分析人士表示,雙(叔丁基氨基)硅烷是隨半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展而誕生的一種重要氨基硅烷前驅體材料,我國是全球電子制造中心,雙(叔丁基氨基)硅烷市場需求空間廣闊。近年來,隨著研究深入,雙(叔丁基氨基)硅烷生產(chǎn)技術在不斷的開發(fā),但目前來看,其生產(chǎn)工藝仍需進一步優(yōu)化。

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