雙（叔丁基氨基）硅烷，簡稱BTBAS，室溫下呈無色透明液體，在空氣中具有高揮發性，易燃，須在惰性氣體保護下儲存。雙（叔丁基氨基）硅烷具有較高反應活性，可應用在半導體、表面處理、涂料等領域。
半導體是雙（叔丁基氨基）硅烷主要需求領域，作為先進硅基前驅體材料，雙（叔丁基氨基）硅烷可用于在較低溫度下沉積氮化硅和氧化硅薄膜，制備半導體器件。雙（叔丁基氨基）硅烷是氨基硅烷前驅體中反應活性較高的一種前驅體，由于其Si-N鍵相對較弱，可使硅原子有效地參與到薄膜的生長過程中，提高氣相沉積（CVD）、原子層沉積（ALD）等薄膜沉積工藝速率和效率。
目前國內雙（叔丁基氨基）硅烷制備方法報道較少，主要途徑有以氮氣或惰性氣體為載氣，將二氯硅烷蒸氣與液態叔丁胺反應，在無水條件下，經過攪拌、過濾、膜分離、蒸發和精餾等工藝得到高純產品，或在惰性氣體及有機溶劑存在下，加入二氯氫硅和功能催化劑，攪拌降溫后加入叔丁基氨反應，完成反應后過濾雜質得到成品。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2028年中國雙（叔丁基氨基）硅烷（BTBAS）市場行情監測及未來發展前景研究報告》顯示，近年來，我國晶圓產能呈逐漸擴展態勢，帶動雙（叔丁基氨基）硅烷市場需求空間持續擴大。同時隨著沉積層數增加，市場對前驅體材料的要求不斷提升，電子級高純度雙（叔丁基氨基）硅烷市場需求旺盛。
雙（叔丁基氨基）硅烷產業發展政策環境良好。如工信部等多部門發布《關于推動未來產業創新發展的實施意見》，其中提到要發展先進半導體、高性能碳纖維等關鍵戰略材料。雙（叔丁基氨基）硅烷作為較流行的先進半導體硅基前驅體材料，行業發展態勢將持續向好。
在全球市場上，雙（叔丁基氨基）硅烷市場布局企業包括沃尼克材料北美公司、埃雷茲科技公司、美國AMS、Anhui Botai Electronic Materials、艾佩科（蘇州）電子、江蘇南大光電材料等。我國雙（叔丁基氨基）硅烷市場起步較晚，在生產工藝、純化工藝等方面還需進一步優化。
新思界
行業分析人士表示，雙（叔丁基氨基）硅烷是隨半導體產業發展而誕生的一種重要氨基硅烷前驅體材料，我國是全球電子制造中心，雙（叔丁基氨基）硅烷市場需求空間廣闊。近年來，隨著研究深入，雙（叔丁基氨基）硅烷生產技術在不斷的開發，但目前來看，其生產工藝仍需進一步優化。
關鍵字：
