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          電子級多晶硅可用于制造集成電路 改良西門子法為其主流制備方法

          2024-10-23 10:10      責任編輯:楊光    來源:www.heb-baidu.cn    點擊:
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                  按照純度及用途不同,多晶硅可分為電子級多晶硅以及光伏級多晶硅兩種。電子級多晶硅指純度高達99.999999999%的多晶硅,具有機械強度高、導電性好、結構穩定性好、可加工性好等優勢,在集成電路、晶體管以及微電子器件等半導體工業中應用廣泛。

                  電子級多晶硅的制備方法包括硅烷法、改良西門子法、氯硅烷還原法等。硅烷法包括置換法和歧化法,其制備流程較為復雜,需經過多次熱分裂反應才能制得成品,目前尚未實現規模化生產;改良西門子法以高純三氯氫硅以及高純氫氣為原材料,經高溫加熱、還原、沉淀等流程制得成品,具備成品質量好、原材料利用率高等優勢,已成為電子級多晶硅主流制備方法。

                  電子級多晶硅種類豐富。按照純度不同,電子級多晶硅可分為9N、10N、11N以及12N電子級多晶硅等;按照技術不同,可分為電子級直拉用多晶硅以及電子級區熔用多晶硅。12N電子級多晶硅純度最高,具備載流子遷移率高、電阻率低等優勢,主要應用于平板顯示技術以及大尺寸集成電路制造領域。

                  根據新思界產業研究中心發布的《2024-2029年中國電子級多晶硅行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示,受益于技術進步,全球電子級多晶硅產量持續增長,據中國光伏行業協會統計數據顯示,2023年全球電子級多晶硅產量達到3.9萬噸。在本土方面,電子級多晶硅為集成電路重要基材。近年來,隨著全球半導體產業向我國大陸轉移,我國集成電路產量不斷增長。據國家工信部統計數據顯示,2023年我國集成電路產量達到3514億塊,同比增長6.9%。未來在應用需求拉動下,我國電子級多晶硅行業發展速度將進一步加快。

                  在行業發展初期,全球電子級多晶硅市場被海外企業占據主導,包括日本住友、日本三菱、日本德山、美國赫姆洛克半導體以及德國瓦克等。在本土方面,我國電子級多晶硅主要生產商包括通威股份、特變電工、立昂微、硅烷科技、協鑫科技、天宏瑞科等。

                  新思界行業分析人士表示,電子級多晶硅作為一種高純度多晶硅,在半導體工業中應用廣泛,未來伴隨我國集成電路產量增長,其應用需求將日益旺盛。與海外發達國家相比,我國電子級多晶硅行業起步較晚,需求長期依賴進口。未來隨著本土企業持續發力以及技術進步,我國電子級多晶硅市場國產化進程有望加快。
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