MEMS傳感器，又稱微機電系統傳感器，按照檢測物理參數不同，可分為MEMS溫度傳感器、MEMS壓力傳感器、MEMS氣體傳感器、MEMS聲音傳感器等多種類型。MEMS氣體傳感器，指能夠檢測周圍環境中特定氣體，并將檢測到信息轉化為電信號的MEMS傳感器，在環境監測、工業安全監控、醫療健康、消費電子等領域擁有廣闊應用前景。
MEMS氣體傳感器基于MEMS技術制成。MEMS技術，又稱微機械加工技術，指將微加工技術與集成電路制造技術相結合，用于制備執行器、傳感器等器件的技術。與海外發達國家相比，我國MEMS技術研究起步較晚，本土企業及科研機構于上世紀八十年代才開展相關產品的開發工作。經過多年發展，我國MEMS技術不斷創新突破，帶動MEMS氣體傳感器行業發展速度有所加快。
氣敏材料為MEMS氣體傳感器重要基材，能夠檢測氣體濃度以及主要成分。氧化鈷、氧化錫、氧化鋅等金屬氧化物半導體材料常用作MEMS氣體傳感器的氣敏材料。氧化錫對于甲烷（CH4）、一氧化碳（CO）、硫化氫（H2S）等還原性氣體具備較高靈敏度，以其為氣敏材料制成的MEMS氣體傳感器在環境污染氣體檢測場景應用較多。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年MEMS氣體傳感器行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，MEMS氣體傳感器具備抗震性好、靈敏度高、使用壽命長、驅動電路簡單、體積小、輕量化等特點，在眾多領域擁有廣闊應用前景。在環境監測領域，MEMS氣體傳感器可用于監測室內空氣質量、工業廢氣排放濃度、水質及土壤污染程度等。未來伴隨國家環保政策逐漸落地實施，MEMS氣體傳感器作為環境監測儀器，市場空間將進一步擴展。
我國MEMS氣體傳感器主要生產商包括中國兵器工業集團有限公司、微納感知（合肥）技術有限公司、廣東增敏科技有限公司等。2024年7月，增敏科技自主研發的第三代熱導式MEMS數字氣敏傳感器正式投產，產品可與各種控制系統進行集成，未來有望在工業領域獲得應用。
新思界
行業分析人士表示，MEMS氣體傳感器綜合性能優良，在眾多領域擁有廣闊應用前景。未來伴隨MEMS技術不斷進步以及市場需求逐漸釋放，我國MEMS氣體傳感器行業發展態勢將持續向好。目前，我國已有多家企業具備MEMS氣體傳感器自主研發及生產實力，未來其行業景氣度將進一步提升。
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