壓力傳感器種類豐富,主要包括薄膜壓力傳感器、陶瓷壓阻式壓力傳感器、金屬應變片粘貼式壓力傳感器、差壓電容式壓力傳感器等。薄膜壓力傳感器,指基于彈性膜片制成的能將機械壓力轉換為電信號的裝置。薄膜壓力傳感器具有抗干擾力強、精度高、靈敏度高等優勢,主要應用于機械制造、航空航天、礦產開采等領域。
薄膜壓力傳感器主要包括半導體薄膜壓力傳感器、合金薄膜壓力傳感器兩種類型。半導體薄膜壓力傳感器可細分為金剛石薄膜壓力傳感器、SiC薄膜壓力傳感器以及多晶硅薄膜壓力傳感器;合金薄膜壓力傳感器可細分為鈀鉻合金薄膜壓力傳感器、鎳鉻系合金薄膜壓力傳感器以及鉑鎢合金薄膜壓力傳感器等。SiC薄膜壓力傳感器以SiC薄膜為基材制成,為薄膜壓力傳感器代表產品。
薄膜制備技術為薄膜壓力傳感器核心技術,包括化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、脈沖激光沉積(PLD)以及溶膠-凝膠等。脈沖激光沉積指利用高功率脈沖激光束對靶材表面進行照射,進而形成薄膜,該技術具備薄膜沉積速度快、參數易控制、成品質量好等優勢,未來有望在薄膜壓力傳感器制備過程中獲得廣泛應用。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年薄膜壓力傳感器行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示,薄膜壓力傳感器為壓力傳感器細分產品,在機械制造、航空航天、礦產開采等領域應用較多。在機械制造領域,薄膜壓力傳感器可用于控制模具壓力;在航空航天領域,其可用于監測座艙壓力、發動機內部壓力以及空氣動力參數等;在礦產開采領域,其可用于監測采礦設備、礦井環境等。
常州天策電子科技有限公司、中國電子科技集團有限公司、深圳國微感知技術有限公司、宇博智能科技有限公司、蘇州能斯達電子科技有限公司、深圳嘉宇順科技有限公司等為我國薄膜壓力傳感器市場主要參與者。能斯達推出的MD30-60柔性薄膜壓力傳感器,目前已在智能機器人以及人機交互領域獲得應用。
新思界
行業分析人士表示,隨著壓力傳感器行業景氣度提升,薄膜壓力傳感器作為其重要分支,市場空間將不斷擴展。受益于技術進步,我國薄膜壓力傳感器行業發展速度不斷加快。受市場前景吸引,我國已有多家企業布局薄膜壓力傳感器行業研發及生產賽道,未來其市場競爭將日益激烈。
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