熱壓鍵合機(TCB),指利用熱能與機械力的協同作用,實現材料間高強度精密連接的半導體專用設備。熱壓鍵合機具備可實現多材料兼容、工作精度高、響應速度快、自動化程度高等優勢,在HBM制造過程中需求旺盛。
近年來,我國企業及相關科研機構不斷加大對于熱壓鍵合機的研發投入力度,帶動其相關專利數量不斷增加,主要包括《半導體晶片表面鍵合加工用等離子體真空熱壓鍵合機及鍵合方法》、《一種伺服真空熱壓鍵合機》、《真空熱壓鍵合機》、《晶圓熱壓鍵合裝置》等。未來伴隨研究深入、技術進步,我國熱壓鍵合機行業發展速度將有所加快。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2030年熱壓鍵合機(TCB)行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示,熱壓鍵合機屬于半導體專用設備,能夠在亞微米級對準精度下完成鍵合,在HBM制造過程中需求旺盛。HBM,全稱為高寬帶內存,具備低延遲以及高帶寬等特性,為AI芯片重要組成部分。近年來,隨著AI芯片行業景氣度提升,HBM市場需求不斷增長。2024年全球HBM需求量同比增長超過200%。熱壓鍵合機對于HBM良品率起到決定性作用,未來伴隨下游行業發展速度加快,其市場空間有望擴展。
在行業發展初期,我國熱壓鍵合機高度依賴進口,日本、韓國、新加坡以及荷蘭等國為我國主要進口國。韓國漢美半導體公司(Hanmi Semiconductor)、日本芝浦株式會社(Toshiba)、日本新川電機公司(SHINKAWA)、荷蘭BESI公司、新加坡ASMPT公司等為全球熱壓鍵合機代表企業。Hanmi為全球最大熱壓鍵合機供應商,產品已在HBM堆疊工藝中獲得廣泛應用。
近年來,受國際形勢影響以及國家政策支持,我國熱壓鍵合機自主研發實力不斷提升。青禾晶元半導體科技(集團)有限責任公司專注于半導體鍵合集成技術及相關設備的研發、生產及銷售,目前已推出熱壓/陽極鍵合、親水/混合鍵合以及臨時鍵合/解鍵合等多種類型半導體鍵合設備。
新思界
行業分析人士表示,受益于HBM行業發展速度加快,熱壓鍵合機作為其核心制造設備,市場需求有望增長。目前,受技術壁壘高、生產成本高等因素限制,我國熱壓鍵合機高度依賴進口。預計未來一段時間,隨著技術進步以及本土企業持續發力,我國熱壓鍵合機行業發展態勢將持續向好。
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