分子泵是真空泵的一種,工作原理是利用高速旋轉的轉子,將動量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮至排氣口,后被前級抽走,進而獲得高真空及超高真空。
分子泵發展已有100多年,隨著技術革新,分子泵已經歷了牽引式分子泵、渦輪分子泵、磁懸浮軸承與氣體靜壓軸承分子泵、復合分子泵等迭代,目前磁懸浮軸承、復合分子泵已達到實用化程度,應用場景廣泛。隨著技術迭代,分子泵性能也實現了不斷提升。
分子泵冷卻方式分為自然冷卻法、強制風冷法、水冷法等。分子泵是高真空及超高真空領域首選設備之一,具有功耗小、噪音低、操作簡單、易維護、啟動快、無油污染等特點,可用于金屬冶煉、光學儀器、航空航天、半導體、光伏、平板顯示、新能源等多個領域。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2029年中國分子泵市場行情監測及未來發展前景研究報告》顯示,磁懸浮分子泵是光刻機、刻蝕設備、薄膜沉積設備、離子注入機等半導體設備核心零部件,近年來,受益于半導體、新能源等領域對高真空環境的需求不斷釋放,磁懸浮分子泵市場規模逐漸擴張,2024年全球磁懸浮分子泵市場規模達2.6億美元,預計2030年這一市場規模將增長至4.8億美元。
分子泵行業存在一定技術壁壘,國外分子泵研制起步早、技術先進,在高端分子泵領域占據著重要地位,包括德國普發Pfeiffer、英國愛德華Edwards、日本島津Shimadzu、德國萊寶Leybold、美國安捷倫Agilen等企業。
我國分子泵研發起步較晚,但目前國內多家企業已打破技術壟斷,實現了分子泵國產化生產。我國分子泵生產企業包括北京中科科儀股份有限公司(中科科儀)、杭州昆泰磁懸浮技術有限公司、合肥昱馳真空技術有限公司、山東世紀安泰真空設備有限公司等。中科科儀是國內分子泵技術引領者、標準起草者及最大生產供應商,產品性能已達到國際領先水平。
新思界
行業分析人士表示,分子泵發展時間長,目前市場上已有多種規格的分子泵,應用場景廣泛,涉及到半導體、光伏、光學儀器、航空航天等領域。我國分子泵研制起步較晚,但近年來,依托高性價比、國產化政策等優勢,國產分子泵迎來了廣闊發展空間。隨著需求升級、技術迭代,未來分子泵將進一步向更高效、更長壽命、更智能等方向發展。
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