分子泵是真空泵的一種,工作原理是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子,將動(dòng)量傳輸給氣體分子,使之獲得定向速度,從而被壓縮至排氣口,后被前級(jí)抽走,進(jìn)而獲得高真空及超高真空。
分子泵發(fā)展已有100多年,隨著技術(shù)革新,分子泵已經(jīng)歷了牽引式分子泵、渦輪分子泵、磁懸浮軸承與氣體靜壓軸承分子泵、復(fù)合分子泵等迭代,目前磁懸浮軸承、復(fù)合分子泵已達(dá)到實(shí)用化程度,應(yīng)用場(chǎng)景廣泛。隨著技術(shù)迭代,分子泵性能也實(shí)現(xiàn)了不斷提升。
分子泵冷卻方式分為自然冷卻法、強(qiáng)制風(fēng)冷法、水冷法等。分子泵是高真空及超高真空領(lǐng)域首選設(shè)備之一,具有功耗小、噪音低、操作簡(jiǎn)單、易維護(hù)、啟動(dòng)快、無油污染等特點(diǎn),可用于金屬冶煉、光學(xué)儀器、航空航天、半導(dǎo)體、光伏、平板顯示、新能源等多個(gè)領(lǐng)域。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2025-2029年中國(guó)分子泵市場(chǎng)行情監(jiān)測(cè)及未來發(fā)展前景研究報(bào)告》顯示,磁懸浮分子泵是光刻機(jī)、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)等半導(dǎo)體設(shè)備核心零部件,近年來,受益于半導(dǎo)體、新能源等領(lǐng)域?qū)Ω哒婵窄h(huán)境的需求不斷釋放,磁懸浮分子泵市場(chǎng)規(guī)模逐漸擴(kuò)張,2024年全球磁懸浮分子泵市場(chǎng)規(guī)模達(dá)2.6億美元,預(yù)計(jì)2030年這一市場(chǎng)規(guī)模將增長(zhǎng)至4.8億美元。
分子泵行業(yè)存在一定技術(shù)壁壘,國(guó)外分子泵研制起步早、技術(shù)先進(jìn),在高端分子泵領(lǐng)域占據(jù)著重要地位,包括德國(guó)普發(fā)Pfeiffer、英國(guó)愛德華Edwards、日本島津Shimadzu、德國(guó)萊寶Leybold、美國(guó)安捷倫Agilen等企業(yè)。
我國(guó)分子泵研發(fā)起步較晚,但目前國(guó)內(nèi)多家企業(yè)已打破技術(shù)壟斷,實(shí)現(xiàn)了分子泵國(guó)產(chǎn)化生產(chǎn)。我國(guó)分子泵生產(chǎn)企業(yè)包括北京中科科儀股份有限公司(中科科儀)、杭州昆泰磁懸浮技術(shù)有限公司、合肥昱馳真空技術(shù)有限公司、山東世紀(jì)安泰真空設(shè)備有限公司等。中科科儀是國(guó)內(nèi)分子泵技術(shù)引領(lǐng)者、標(biāo)準(zhǔn)起草者及最大生產(chǎn)供應(yīng)商,產(chǎn)品性能已達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。
新思界
行業(yè)分析人士表示,分子泵發(fā)展時(shí)間長(zhǎng),目前市場(chǎng)上已有多種規(guī)格的分子泵,應(yīng)用場(chǎng)景廣泛,涉及到半導(dǎo)體、光伏、光學(xué)儀器、航空航天等領(lǐng)域。我國(guó)分子泵研制起步較晚,但近年來,依托高性價(jià)比、國(guó)產(chǎn)化政策等優(yōu)勢(shì),國(guó)產(chǎn)分子泵迎來了廣闊發(fā)展空間。隨著需求升級(jí)、技術(shù)迭代,未來分子泵將進(jìn)一步向更高效、更長(zhǎng)壽命、更智能等方向發(fā)展。
關(guān)鍵字: