激光誘導阻值變化顯微鏡即激光光束誘導阻抗值變化測試顯微鏡，簡稱OBIRCH，是一種采用掃描聚焦激光束產生熱激勵探測缺陷位置技術的設備。
OBIRCH主要由激光束加熱部分、探測電阻改變部分兩大部分組成，工作原理是以激光束為外部刺激源，掃描通電工作的芯片表面，通過監(jiān)測芯片電源電流或電壓的變化來定位缺陷。
根據新思界產業(yè)研究中心發(fā)布的
《2025-2029中國激光誘導阻值變化顯微鏡（OBIRCH）行業(yè)市場現狀綜合研究及投資前景預測報告》顯示，OBIRCH具有高靈敏度、不受光發(fā)射限制、非侵入式等特點，可用于集成電路（IC）失效分析和缺陷定位。OBIRCH可以偵測集成電路中各種組件缺陷所產生的漏電流及定位微光顯微鏡（EMMI）無法檢測的失效模式，包括柵氧化層缺陷、柵氧化層漏電、開路缺陷定位、非發(fā)光失效定位、微短路缺陷定位等。
OBIRCH在半導體失效分析中發(fā)揮著重要作用。失效分析（故障分析）是貫穿集成電路產品開發(fā)、規(guī)模量產、封裝測試等過程中的重要分析方式。近年來，隨著集成電路產業(yè)規(guī)模擴張，集成電路失效發(fā)生率及復雜性也不斷增加，為保證集成電路質量和可靠性，失效分析工作愈發(fā)重要，這為OBIRCH市場發(fā)展提供了廣闊需求空間。
全球失效分析設備市場競爭激烈，美國賽默飛、日本濱松電子等國外龍頭企業(yè)在技術積累上具有明顯優(yōu)勢，長期壟斷鎖相紅外顯微鏡、微光顯微鏡、OBIRCH等失效分析設備市場，市場競爭力較強。
我國企業(yè)在技術上與國外企業(yè)存在一定差距，但近年來，在國產替代背景下，我國企業(yè)憑借在成本控制、本地化服務等方面的優(yōu)勢，在失效分析設備市場的占有率逐步提升。其中安徽凌光紅外科技有限公司（凌光紅外）已推出鎖相紅外顯微鏡、微光顯微鏡、激光誘導電阻檢測儀等設備，并已成功交付頭部客戶。
OBIRCH行業(yè)發(fā)展受政策影響，其中《國民經濟和社會發(fā)展第十四個五年規(guī)劃和2035年遠景目標綱要》提到關注集成電路設計工具、重點裝備和高純靶材等關鍵材料研發(fā)。OBIRCH作為重要的半導體失效分析設備，有望在政策推動下迎來更多發(fā)展機遇。
新思界
行業(yè)分析人士表示，OBIRCH具有高分辨率、高精度等特點，能夠檢測或定位到微小的缺陷，隨著半導體產業(yè)規(guī)模擴大、技術不斷進步，市場對失效分析設備的精度、效率要求越來越高，將推動OBIRCH市場持續(xù)增長。OBIRCH市場競爭日益多元，在國產替代背景下，我國企業(yè)市場占有率將持續(xù)提升。
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