真空計，又稱真空表，是測量真空度或氣壓的儀器，根據原理不同分為電容薄膜真空計、波爾登真空計、冷陰極離子真空計、皮拉尼型真空計、熱電偶真空計等。電容薄膜真空計，是利用隔膜在氣體分子作用下發生變形而測量壓強的真空計。
電容薄膜真空計具有測量精密度高、響應速度快、高穩定性、再現性與重復性好等特點，在半導體、光伏、航空航天等領域廣泛應用。在半導體領域，電容薄膜真空計主要應用于刻蝕、薄膜沉積等工藝環節；在光伏領域，電容薄膜真空計主要用于光伏電池生產環節；在航空航天領域，電容薄膜真空計可應用于航天器、火箭等的真空測試和模擬環境環節。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025年中國電容薄膜真空計市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示，隨著技術進步、下游行業持續發展，電容薄膜真空計市場規模穩步擴大。預計2031年全球電容薄膜真空計市場規模將達到24億元，預測期間內（2025-2031年）其市場年復合增長率（CAGR）將為2.8%。
國外電容薄膜真空計生產企業包括Granville-Phillips、MKS（MKS Instruments）、英福康（INFICON）、Canon ANELVA等。我國參與電容薄膜真空計研究、生產的機構和企業包括航天科技集團五院510所、上海振太儀表有限公司、浙江科蘊電子科技有限公司、深圳市萬德泉科技有限公司、季華實驗室、佛儀科技（佛山）有限公司、上海梅科伍德電子科技有限公司等。
上海振太儀表有限公司是除MKS與Inficon外，少數具備核心技術與自主知識產權，擁有完整電容薄膜真空計生產線的企業。2024年，上海梅科伍德電子科技有限公司研發的“電容薄膜真空計10 Torr”項目，榮獲第五屆上海真空科技進步獎獲獎二等獎。
近年來，我國發布多項電容薄膜真空計相關標準，有利于該行業高品質發展，如國家標準《真空技術 真空計 電容薄膜真空計的規范、校準和測量不確定度（GB/T 43916-2024）》、團體標準《半導體裝備用絕壓電容薄膜真空計比對法測試規范（T/GVS 005—2022）》《電容薄膜真空計（T/CEPEA 0201—2023）》等。
新思界
行業分析人士表示，電容薄膜真空計是真空計行業主要細分產品之一，在半導體、光伏、航空航天等領域廣泛應用。在下游行業持續增長、企業不斷取得技術突破利好下，我國電容薄膜真空計行業發展空間較大，并且高端化發展進程有望加快。
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