半導體真空泵，指通過抽取氣體使密閉腔體達到特定真空度的設備。與傳統工業真空泵相比，半導體真空泵具備耐腐蝕、潔凈度高、抽氣效率高、運行穩定性好等特點，在等離子體蝕刻、薄膜沉積、離子注入等半導體制造環節應用較多。
干式真空泵為半導體真空泵市場主流產品，可細分為渦旋式真空泵、羅茨式真空泵、爪式真空泵以及螺桿式真空泵等。干式真空泵具備維護成本低、運行穩定高效、無油污染等特點，可用于抽除有毒氣體以及粉塵顆粒物。經過多年發展，我國干式真空泵技術不斷進步，已有多家企業具備其規模化生產實力。未來隨著干式真空泵市場空間不斷擴展，我國半導體真空泵行業景氣度將進一步提升。
半導體制造領域為半導體真空泵主要需求端。近年來，隨著全球半導體產業逐漸向我國大陸轉移，我國晶圓產能持續擴張。2024年我國晶圓月均產能達到近900萬片，同比增長超過10%。半導體真空泵可用于晶圓加工的薄膜沉積、離子注入等環節。根據新思界產業研究中心發布的《
2025年中國半導體真空泵市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示，在應用需求帶動下，我國半導體真空泵市場規模持續增長，2024年達到近100億元。
在行業發展初期，受技術壁壘高、生產成本高等因素限制，全球半導體真空泵市場被歐美以及日本占據主導。瑞典阿特拉斯·科普柯集團（Atlas）、德國普發集團（PFEIFFER VACUUM）、日本島津制作所（Shimadzu）、日本株式會社大阪真空機器制作所（Osaka Vacuum）等為全球知名半導體真空泵生產商。瑞典Atlas于2016年收購了德國萊寶（Leybold）和英國愛德華（Edwards），已成為全球最大半導體真空泵供應商。
近年來，隨著本土企業企業持續發力，我國半導體真空泵市場國產化進程不斷加快。漢鐘精機、東亞機械、光德星銳科技、中科科儀等為我國半導體真空泵主要生產商。漢鐘精機已推出PMF系列、PDM系列以及iPH系列半導體真空泵，產品在晶圓加工環節獲得廣泛應用。據漢鐘精機企業半年報顯示，2025年上半年公司真空產品實現營收2.8億元。
新思界
行業分析人士表示，半導體真空泵作為半導體加工設備，應用需求旺盛，行業發展態勢持續向好。在細分產品方面，干式真空泵綜合性能優良，占據半導體真空泵市場較大份額。目前，我國已有多家企業具備半導體真空泵自主研發及規模化生產實力，未來其行業發展速度有望加快。
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