紫外飛秒激光器，是一種能夠在紫外波段（在347-355nm之間）輸出超短脈沖的激光設備。
飛秒激光器是一種超快脈沖激光器，可實現材料的“冷加工”。根據激光器波長不同，飛秒激光器分為紅外飛秒激光器、綠光飛秒激光器、紫外飛秒激光器。紫外飛秒激光器具有脈沖持續時間極短、光子能量高、高峰值功率、加工熱影響區域小等特點，在電子、生物醫學、科學研究、高分子材料等領域廣泛應用。
在電子領域，紫外飛秒激光器可用于OLED（有機發光二極管）切割、晶圓切割、PCB微孔鉆孔、柔性電路板切割等；在生物醫學領域，紫外飛秒激光器可用于眼科手術（如角膜切割）、生物組織無創成像、微創手術器械制造等；在高分子材料領域，紫外飛秒激光器可用于聚合物薄膜的切割。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2029年全球及中國紫外飛秒激光器行業研究及十五五規劃分析報告》顯示，隨著企業制造水平提升、下游領域需求持續增長，紫外飛秒激光器市場呈現出良好發展趨勢。2024年全球紫外飛秒激光器市場規模約為27億元，預計2025-2031年期間其市場將繼續以6.3%年復合增長率（CAGR）增長。
國外紫外飛秒激光器生產企業包括Coherent高意、相干公司（Coherent Inc.）、Ekspla等。我國紫外飛秒激光器生產企業包括蘇州貝林激光有限公司、北京風啟科技有限公司、上海旭為光電科技有限公司、奧創光子技術有限公司、蘇州英谷激光科技股份有限公司等。
目前我國市場上的商品化紫外飛秒激光器仍存在單脈沖能量不足（大多局限在50μJ以內）、系統穩定性差、維護成本高昂等挑戰。奧創光子推出的“百微焦紫外飛秒激光器”，最大平均功率54W，最大單脈沖能量108μJ，且維護方便，已在材料科學研究獲得應用。
2025年10月，福建省工業和信息化廳公布《福建省首臺（套）重大技術裝備推廣應用指導目錄》，其中“高功率紫外飛秒激光器”作為“重大技術裝備關鍵配套基礎件”入選。政策支持下，我國紫外飛秒激光器行業發展進程進一步加快。
新思界
行業分析人士表示，紫外飛秒激光器能夠實現高精度加工，市場發展前景廣闊。隨著電子等下游領域對精密加工設備需求增長，紫外飛秒激光器市場規模將不斷擴大。在企業和科研機構研發力度加大并取得突破、政策扶持利好下，我國紫外飛秒激光器行業技術水平持續提升，并朝著高端化方向穩步發展。
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