光譜橢偏儀，是基于光學橢偏效應原理，用于測定薄膜材料的層構參數（如厚度）和物理參數（折射率、消光系數、介電函數等）的儀器。光譜橢偏儀是一種先進的光學測量設備，由光源系統、偏振器、樣品臺、補償器、檢測器等部分組成。
光譜橢偏儀具有非接觸測試、高精度測量、光譜范圍寬等特點，在半導體、新能源、光學元件等領域廣泛應用。在半導體領域，光譜橢偏儀可用于測試氧化物薄膜、氮化物薄膜、硅化物薄膜等，這些薄膜材料關系著集成電路性能和質量；在新能源領域，光譜橢偏儀可用于太陽能電池、燃料電池中的各種薄膜測試；在光學元件領域，光譜橢偏儀可用于反射鏡、光學透鏡等光學元件用薄膜測試。
根據新思界產業研究中心發布的
《中國光譜橢偏儀產業發展及“十五五規劃”建議報告》顯示，隨著生產水平提高、半導體等下游行業快速增長，光譜橢偏儀應用需求持續釋放，市場規模逐漸擴大。在細分市場方面，2024年全球半導體光譜橢偏儀市場規模約為16億元，預計2025-2031年期間其市場將繼續以5%年復合增長率增長。
國外光譜橢偏儀生產企業包括Angstrom Sun Technologies、Holmarc Opto-Mechatronics、Semilab、Sentech等。近年來，我國參與光譜橢偏儀布局的企業逐漸增多，包括系科儀器（上海）有限公司、武漢頤光科技有限公司、北京量拓科技有限公司、蘇州費曼測量儀器有限公司等。
北京量拓科技有限公司是國際高端激光橢偏儀和光譜橢偏儀的主要廠商，自主研發的“ES系列光譜橢偏儀”檢測精度達0.1納米，技術指標達到國際領先水平。系科儀器（上海）有限公司已取得“一種應用于光伏電池片在線測量的光譜橢偏儀”、“一種帶Mapping功能的光譜橢偏儀”等多項發明專利，并且研發的“全光譜橢偏儀（COSE PV 6.1C）”，入選《長三角G60科創走廊科學儀器選型手冊》。
新思界
行業分析人士表示，光譜橢偏儀測試精度高、測試效率高，行業具有良好發展前景。受技術水平影響，國外品牌在我國光譜橢偏儀市場長期占據主導地位。在本土企業持續發力下，我國光譜橢偏儀行業技術實力不斷增強，國產替代空間廣闊。隨著納米測量、人工智能等技術進步，市場對光學測量設備性能要求不斷提高，未來光譜橢偏儀市場將朝著智能化、多功能化方向發展。
關鍵字：
