半導體真空閥門，指能夠通過調(diào)節(jié)、切斷或接通管路，維持和控制特定真空環(huán)境的半導體閥門。與傳統(tǒng)工業(yè)級真空閥門相比，半導體真空閥門具備安全可靠性高、使用壽命長、潔凈度高、響應速度快等特點，在半導體離子注入設備、薄膜沉積設備、去膠與清洗設備以及刻蝕設備中應用較多。
2023年10月，由上海市閔行區(qū)中小企業(yè)協(xié)會發(fā)布的團體標準《T/SHMHZQ 021—2023 半導體真空閥門技術(shù)要求規(guī)范》正式實施，文件針對半導體真空閥門的技術(shù)要求、基本參數(shù)、形式、運輸、包裝以及標志等內(nèi)容進行了明確規(guī)范。在此背景下，我國半導體真空閥門行業(yè)將逐漸往規(guī)范化方向發(fā)展。
半導體真空閥門類型多樣，主要包括傳輸閥、隔離閥、插板閥以及調(diào)壓閥等。傳輸閥主要安裝于腔體之間或腔體與負載鎖之間的傳輸通道中；隔離閥主要用于連接或隔離工藝腔室與傳輸腔室；調(diào)壓閥又稱控制閥，能夠調(diào)節(jié)真空腔室內(nèi)的壓力和氣體流量。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2026年中國半導體真空閥門市場專項調(diào)研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報告》顯示，半導體真空閥門主要應用于半導體設備中。近年來，隨著我國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度加快，半導體設備市場空間不斷擴展。2024年我國半導體設備市場規(guī)模達到近450億美元，同比增長近15%。半導體真空閥門能夠連接工藝腔室、真空泵、傳輸腔室等半導體設備關(guān)鍵組件，未來隨著市場需求逐漸釋放，其行業(yè)景氣度將得到進一步提升。
我國半導體真空閥門主要生產(chǎn)企業(yè)包括東莞市沃成科技有限公司、神通半導體科技（南通）有限公司、無錫凱必特斯半導體科技有限公司等。凱必特斯半導體專注于半導體真空閥門及加熱零部件的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，士蘭半導體、華潤微、中芯國際、積塔半導體等晶圓制造商為其主要客戶。2025年11月，凱必特斯半導體完成數(shù)千萬元A+輪融資，資金將用于半導體真空閥門技術(shù)創(chuàng)新過程中。
新思界
行業(yè)分析人士表示，半導體真空閥門綜合性能優(yōu)良，在半導體設備中擁有廣闊應用前景。未來隨著全球半導體產(chǎn)業(yè)逐漸向我國大陸轉(zhuǎn)移，我國半導體真空閥門市場空間將得到進一步擴展。目前，我國已有多家企業(yè)具備半導體真空閥門研發(fā)及生產(chǎn)實力，凱必特斯半導體占據(jù)市場較大份額。
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