超聲波掃描顯微鏡，簡稱SAM、SAT，指通過壓電換能器產生高頻超聲波，進而對樣品進行缺陷檢測的儀器。超聲波掃描顯微鏡具備材料適應性好、可實現無損檢測、響應速度快、檢測精度高等特點，在半導體測試、材料科學檢測、新能源等領域擁有潛在應用價值。
高頻聚焦式換能器為超聲波掃描顯微鏡重要組件，對其分辨率起到決定性作用，可分為LiNbO3單晶換能器以及薄膜式換能器。LiNbO3單晶換能器具備機電耦合系數高、壓電常數高、頻率高，波長小等優勢，但其制備難度較大，目前尚未實現廣泛應用。薄膜式換能器可細分為AlN薄膜換能器、ZnO薄膜換能器等。未來隨著高頻聚焦式換能器市場占比提升，我國超聲波掃描顯微鏡行業發展速度有望加快。
超聲波掃描顯微鏡在眾多領域擁有潛在應用價值，主要包括半導體測試、材料科學以及新能源等。在材料科學領域，超聲波掃描顯微鏡可用于檢測金屬材料、金屬涂層材料以及復合材料；在新能源領域，其可用于太陽能電池板、新能源汽車電池冷卻系統質量檢測過程中。
在半導體測試領域，超聲波掃描顯微鏡可用于集成電路封裝內部缺陷檢測過程中，該領域為其最大需求端。近年來，隨著全球半導體產業逐漸向我國大陸轉移，我國集成電路產量持續增長。據國家工信部統計數據顯示，2025年前三季度，我國集成電路產量達到3819億塊，同比增長8.6%。在此背景下，我國超聲波掃描顯微鏡行業發展空間不斷擴展。根據新思界產業研究中心發布的《
2026年中國超聲波掃描顯微鏡（SAM/SAT）市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示，2024年我國超聲波掃描顯微鏡市場規模同比增長超過25%。
在行業發展初期，歐美以及日本等國占據超聲波掃描顯微鏡市場主導地位，代表企業包括德國KSI公司、美國SONIX公司、日本Nikon公司等。在本土方面，我國超聲波掃描顯微鏡主要生產商包括驕成超聲波、津上智造、芯紀源半導體設備等。芯紀源推出的超聲波掃描顯微鏡在檢測速度、運行成本、靈敏度等方面已達到行業領先水平。
新思界
行業分析人士表示，超聲波掃描顯微鏡在眾多領域擁有廣闊應用前景，未來隨著我國半導體產業發展速度加快，其市場空間將得到進一步擴展。在行業發展初期，我國超聲波掃描顯微鏡高度依賴進口。近年來，伴隨本土企業持續發力，我國超聲波掃描顯微鏡市場國產化進程不斷加快。
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