氣體質量流量控制器（MFC），是一種用于精確測量和控制氣體質量流量的儀器設備，主要產品類型包括熱式毛細管型、熱式MEMS型、差壓式、科氏力式等。
氣體質量流量控制器發揮著氣體流向控制、氣體過濾、流量控制、壓力調節等功能，可用于水廠氯氣控制、醫用氣體混合與監測、為半導體薄膜沉積工藝（CVD、PVD等）提供精確氣體配比支持等，在半導體、新能源、食品工業、生物醫藥、環境監測、石油化工等領域廣泛應用。
根據新思界產業研究中心發布的
《2026-2030年全球及中國氣體質量流量控制器行業研究及十五五規劃分析報告》顯示，氣體質量流量控制器具有快速響應、輸出精度高、多氣體兼容性等性能，行業發展前景可觀。2025年全球氣體質量流量控制器市場規模約為94億元，預計未來全球市場將保持平穩趨勢增長，2031年市場規模將達到123億元。
近年來我國已出臺多項相關標準，以促進氣體質量流量控制器行業規范開發、生產和應用，包括行業標準《氣體質量流量控制器通用技術條件（SJ/T 10583-2016）》、國家標準《氣體分析 動態法制備校準用混合氣體 第7部分：熱式質量流量控制器（GB/T 5275.7-2025）》（2026年5月1日起實施）、企業標準《氣體質量流量控制器（Q31/0114000185C007）》等。
國外企業技術水平先進、品牌知名度高，在全球高端氣體質量流量控制器市場占據主導地位，包括美國派克Parker、日本HORIBA、日本阿自倍爾azbil、美國林肯MKS、荷蘭Bronkhorst等。我國氣體質量流量控制器市場生產企業包括北京精量科技、博思飛爾、無錫愛拓利電子科技、北京七星華創、青島芯笙、天武測控、遼寧冠華等。
2025年，廣州奧松電子研發的“新一代氣體質量流量控制器的研發及產業化”通過科技成果評價，整體技術達到國際先進水平。2025年，遼寧冠華研發的全新一代“超快速質量流量控制器P24S”上市，該產品精度可達±0.05%F.S.，重復性可達±0.02% F.S.，并且響應速度超快（為＜50ms），適用于半導體高端工藝制程。
新思界
行業分析人士表示，氣體質量流量控制器是一種穩流裝置，下游應用領域極為廣泛。隨著技術進步、半導體等下游行業不斷發展，氣體質量流量控制器市場需求將持續釋放。經過近年來發展，我國氣體質量流量控制器行業已取得顯著進展，但高端市場仍由國外企業壟斷。在傳感器技術、精密加工等方面取得突破，以及政策支持、本土企業推出一系列高性能產品等驅動下，我國高端氣體質量流量控制器國產化率將有所提高。
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