三(二甲氨基)硅烷，別名三(二甲胺基)硅烷，英文簡稱TDMAS，分子式為C6H19N3Si，分子量為161.321，外觀為無色液體狀，有毒性，密度0.838g/ml，沸點142℃，熔點-90℃，閃點25℃，易燃燒，存儲需密封并遠離火種、熱源。三(二甲氨基)硅烷主要應用在電子產(chǎn)業(yè)中，即電子級三(二甲氨基)硅烷。
在半導體領域，電子級三(二甲氨基)硅烷可用來制備柵極側(cè)墻隔離層、刻蝕停止層、擴散阻擋層、鈍化層等；在鋰離子電池中，電子級三(二甲氨基)硅烷可用來制備電極材料表面的超薄保護層、硅增強隔膜；在太陽能電池中，電子級三(二甲氨基)硅烷可利用原子層沉積法將二氧化硅、氮化硅沉積到二氧化鈦（TiO2）陽極或硅基體之上，作為鈍化層或者減反射膜；在燃料電池中，電子級三(二甲氨基)硅烷可用來制備電解質(zhì)薄膜或保護層。
三(二甲氨基)硅烷的制備方法可以采用直接胺解法，以三氯硅烷、二甲胺為原料，在低溫條件下通過親和取代反應得到，具有工藝流程簡單、原料成本較低、適合規(guī)�；a(chǎn)等優(yōu)點，但反應條件控制要求高、副產(chǎn)物產(chǎn)生量大。電子級三(二甲氨基)硅烷制備可以高純度三氯硅烷、無水二甲胺為原料，嚴格控制反應條件，再經(jīng)純化得到。
新思界
行業(yè)分析人士表示，近年來，我國電子級三(二甲氨基)硅烷布局企業(yè)不斷增多。2025年8月，太和氣體（荊州）有限公司“高端電子化學品材料項目”環(huán)境影響報告書受理公告，項目總投資50000萬元，建設內(nèi)容中包括產(chǎn)能20噸/年的電子級三(二甲氨基)硅烷生產(chǎn)線，產(chǎn)品純度99.999%。
2022年2月，洛陽中硅高科技有限公司、中國恩菲工程技術有限公司授權公告了“電子級三（二甲氨基）硅烷的合成裝置”專利，該專利裝置改變了反應原料種類和加料方式，并降低了反應溫度的波動性以及工藝成本。2023年1月，貴州威頓晶磷電子材料股份有限公司申請了“一種電子級三-二甲氨基-硅烷的制造裝置及制造方法”專利，該發(fā)明生產(chǎn)過程環(huán)保、原料種類簡單、產(chǎn)物純度高。
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