三氯化硼分子式為BCl3,為無色發煙液體或氣體,屬危險化學品。根據產品純度的不同,三氯化硼可以分為99.9%(3N)、99.99%(4N)、99.999%(5N)等系列產品。
高純三氯化硼主要用于(硅)半導體器件制造工藝中的擴散摻雜(在高溫下,經過分解生成硼雜質向硅中擴散,形成P型半導體)、離子注入(作為離子注入源,高能量作用下使硼原子離子化,產生硼離子束并注入硅形成P型淺結)、干法蝕刻(用于Al、MoSi2、TaSi2、TiSi2、Wsi等材料的蝕刻)等過程。
根據新思界產業研究中心發布的
《2024-2028年中國三氯化硼市場行情監測及未來發展前景研究報告》顯示,美國普萊克斯公司(PRAXAIR)、日本昭和電工、法國液化空氣公司(Air Liquide)等國外企業憑借5N以上的高純三氯化硼產品優勢,與國內電子高科技企業長期保持穩定的合作關系,占據了中國三氯化硼行業較多的市場份額。中國三氯化硼行業產業化生產時間短,行業生產能力的正在逐步提升,市場規模有所擴大。
目前,世界上主要的三氯化硼生產企業有日本昭和電工、美國氣體化工和普萊克斯、德國林德集團等,這些企業技術水平較高,產品生產工藝成熟,在國際市場具有較強競爭力,國內每年需要從這些國家進口純度較高的三氯化硼產品。而國內企業生產的三氯化硼產品,主要出口至國外中低端市場。
三氯化硼的下游行業主要是半導體、有機合成、高純硼、硼化合物、金屬冶煉等行業。以半導體為代表的電子工業是國民經濟不可缺少的基礎和支柱,在國防和軍事上有不可替代的作用,為三氯化硼的需求增長提供了良好的市場機遇;
在有機合成領域,三氯化硼常用于苯乙烯等有機反應的催化劑,而苯乙烯工業上是合成樹脂、離子交換樹脂及合成橡膠等的重要單體;有機硼化合物除在有機合成方面有廣泛的應用外,還可用作聚合反應的引發劑、煤油抗氧劑、殺菌劑等。
新思界
產業研究人士認為,我國產業結構的調整和戰略性新興產業的發展極大地拓展了特種氣體的應用領域,多晶硅、磁性材料、電子半導體等新興行業的快速增長,為三氯化硼行業打開了廣闊的市場空間。
在新的形勢下,我國三氯化硼行業必須把握產業發展新趨勢、新熱點,樹立新思路,采取新舉措,突破新技術,拓展新市場,提供新產品、新服務,加快國產化進程,強化產業競爭力。
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