電子級磷烷，是一種以磷化氫為主要成分的超高純度特種電子氣體。與工業級磷烷相比，電子級磷烷具備還原性強、純度高、工藝適配性強等特點，在半導體制造領域擁有廣闊應用前景。
電子級磷烷制備方法包括電化學合成法、亞磷酸分解法、金屬磷化物酸解法、金屬磷化物水解法、黃磷氧化法等。亞磷酸分解法，指以亞磷酸為原材料，在無氧條件下，經液化、加熱、分解、提純等流程制得成品，該法具備原材料易得、運行成本低、綠色環保、操作流程簡單等優勢，適合進行連續化生產，未來有望成為電子級磷烷主要制備方法。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025年中國電子級磷烷市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示，半導體制造領域為電子級磷烷主要需求端，占比達到近八成。近年來，隨著技術進步，我國半導體器件行業逐漸往集成化、小型化以及高性能方向發展。電子級磷烷作為電子特氣，可用于硅外延片摻雜、離子注入、化學氣相沉積等半導體制造工藝中。未來隨著全球半導體產業逐漸往我國大陸轉移，我國電子級磷烷應用需求將進一步增長。
在行業發展初期，受技術壁壘高、生產成本高等因素限制，海外企業長期占據全球電子級磷烷市場主導地位。德國林德集團（Linde）、美國默克公司（Merck&Co）、日本大陽日酸株式會社、日本Rasa工業株式會社、比利時索爾維公司（Solvay）等為全球知名電子級磷烷生產商。以上企業均具備6N級以上電子級磷烷批量生產實力。
在本土方面，雖然我國電子級磷烷行業起步較晚，但發展勢頭迅猛，已有多家企業掌握其高端產品核心制備技術。南大光電、興發化工、大洋天慶、正帆科技等為我國電子級磷烷市場主要參與者。南大光電專注于電子特氣、先進前驅體以及光刻膠等電子材料的研發、生產及銷售，為我國電子級磷烷最大供應商。目前，南大光電生產的電子級磷烷純度已達到7N級，位居全球領先。
新思界
行業分析人士表示，電子級磷烷性能優異，應用前景廣闊。未來隨著我國半導體制造行業發展速度加快，電子級磷烷市場空間將得到進一步擴展。受益于本土企業持續發力，我國電子級磷烷技術水平不斷提升。預計未來一段時間，我國電子級磷烷行業將逐漸往高品質方向發展。
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