大束流離子注入機，指可以處理大電流離子束的離子注入機。大束流離子注入機具備高效傳輸、污染控制、劑量均勻性精確控制等功能，在晶圓制造領域擁有廣闊應用前景。
離子注入機主要包括大束流離子注入機、高能離子注入機以及中束流離子注入機等類型。與高能離子注入機相比，大束流離子注入機具備技術成熟度高、生產成本低等優勢。與中束流離子注入機相比，大束流離子注入機具備工作效率高、能量控制精度高、適應性好等優勢。經過多年發展，大束流離子注入機技術成熟度不斷提升，已逐漸成為離子注入機市場主流產品。未來隨著離子注入機行業發展態勢持續向好，我國大束流離子注入機將迎來廣闊市場前景。
大束流離子注入機是一種半導體制造設備，可用于大尺寸晶圓摻雜工藝、超淺結注入工藝以及表面改性工藝中。近年來，隨著全球半導體產業向我國大陸轉移，我國大尺寸晶圓產能不斷擴張。2023年我國12英寸晶圓月均產能達到近380萬片。受益于技術進步以及下游行業發展速度加快，我國大束流離子注入機市場空間不斷擴展。根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年大束流離子注入機行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，2023年我國大束流離子注入機市場規模達到近45億元，創造歷史新高。
在行業發展初期，受技術壁壘高、生產成本高等因素限制，我國大束流離子注入機高度依賴進口，美國和日本為我國主要進口國。近年來，在國家政策支持以及技術進步等積極因素推動下，我國大束流離子注入機市場國產化進程不斷加快。上海萬業企業股份有限公司和中國電子科技集團有限公司為我國大束流離子注入機代表企業。2020年，萬業企業旗下凱世通自主研發出我國首臺低能大束流離子注入機，目前公司已成功獲得多家大尺寸晶圓廠采購訂單。中電科自主研發并生產的大束流離子注入機，已成功入選由國務院國有資產監督管理委員會發布的《 中央企業科技創新成果產品手冊（2022年版）》。
新思界
行業分析人士表示，隨著全球半導體產業向我國大陸轉移，我國大束流離子注入機應用需求不斷增長，行業發展速度有所加快。在行業發展初期，海外企業長期占據我國大束流離子注入機市場主導地位。未來伴隨本土企業持續發力，我國國產大束流離子注入機市場占比有望提升。
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