半導體磁流體密封裝置又稱液體O型密封圈，是指用于半導體工藝設備中的磁流體密封裝置。
半導體工藝設備包括單晶硅爐、液晶再生設備、化學氣相沉積設備、刻蝕設備、鍍膜設備等。半導體工藝設備的工藝腔室中常設置有傳動部件，為避免雜質和氣體影響，半導體制造需要嚴格的密封環境，為確保旋轉部件與腔室本體之間的密封性，需采用密封裝置來實現密封作用。
磁流體密封裝置具有長壽命、無磨損、零泄漏、無污染、可靠性優良等優勢，能夠滿足半導體制造中高精度、高純度、高密封性的要求。磁流體密封裝置是半導體設備常用密封裝置，此外磁流體密封裝置在航天航空、真空技術、石油化工、醫療設備、新能源、深空探測等領域也有廣泛應用。
磁流體密封裝置通常由磁流體、永久磁鐵、軸承、磁極片、可導軸或軸套、不導底座等組成。磁流體是磁流體密封裝置的核心之一，由納米級磁性顆粒、基載液和界面活性劑組成。磁流體具有磁場下迅速響應的特點，其形狀、流動特性隨著磁場強度、方向改變而改變。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2029年中國半導體磁流體密封裝置市場行情監測及未來發展前景研究報告》顯示，半導體磁流體密封裝置行業技術壁壘較高，長期以來，市場一直由日美企業壟斷，尤其是日本企業，包括日本Ferrotec、日本NOK、日本Rigaku等公司。我國半導體磁流體密封裝置國產化起步晚，目前國產化率尚低，浙江微磁半導體科技有限公司（浙江微磁）是推動其國產替代的主要企業。
浙江微磁專業從事磁流體、磁流體真空密封件等產品的研究、開發、生產和銷售，2024年7月，其“磁流體密封模組生產基地項目”開工，該項目總投資10.5億元，將打造出磁性流體功能材料和磁流體密封模組研發、生產、銷售于一體的產業基地和磁流變液減震模組生產基地；同年9月，浙江微磁成功完成數千萬天使輪融資，融資將用于義烏產業基地擴產建設及磁性流體功能材料、磁流體密封模組的研發、生產、銷售。
新思界
行業分析人士表示，近年來，我國取得了多項半導體磁流體密封裝置相關專利，如北京北方華創微電子裝備有限公司的《磁流體密封裝置和半導體工藝設備》、杭州維科磁電技術有限公司的《一種硅單晶爐磁流體密封裝置》、無錫翔域半導體有限公司的《一種用于離子注入機的磁流體密封機構》等，這為半導體磁流體密封裝置國產化發展提供了技術支撐。此外隨著浙江微磁義烏產業基地擴產建設，我國半導體磁流體密封裝置國產化進程將持續推進。
