遠程等離子體源（RPS），是一種能夠產生高密度等離子體的裝置。遠程等離子體源具備工藝選擇性高、無離子轟擊損傷、電子密度高、熱負荷低等特點，在眾多領域擁有廣闊應用前景。
2024年11月，廣東省真空學會發布的團體標準《T/GVS 015—2024 遠程等離子體源的解離率測試方法》正式實施，文件針對遠程等離子體源解離率測試方法的定義、術語、操作準備、測試步驟、測試環境條件等內容進行了明確規范，季華實驗室、江蘇神州半導體科技有限公司、華南師范大學等為該標準主要起草單位。未來隨著行業標準不斷完善，我國高性能遠程等離子體源出貨量有望增長。
遠程等離子體源在眾多領域擁有廣闊應用前景，主要包括半導體制造、光伏電池制造、顯示面板制造等。在半導體制造領域，遠程等離子體源可用于芯片反應腔體清洗、光刻膠去除以及氮化硅/氧化硅選擇性刻蝕等環節；在光伏電池制造領域，其可用于光伏電池鍍膜環節；在顯示面板制造領域，其可應用于LTPS（低溫多晶硅）工藝中。
根據新思界產業研究中心發布的《
2026-2031年遠程等離子體源（RPS）行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，在應用需求拉動下，遠程等離子體源行業發展速度不斷加快。2025年全球遠程等離子體源市場規模達到近3.5億美元，同比增長超過15%。未來隨著高端刻蝕設備市場占比提升以及技術進步，遠程等離子體源行業發展將迎來機遇。預計到2031年，全球遠程等離子體源市場規模將突破10億美元。
全球遠程等離子體源市場主要參與者包括美國萬機儀器有限公司（MKS Instruments）、美國Advanced Energy公司、日本Samco-UCP公司、韓國New Power Plasma公司等。在本土方面，江蘇神州半導體科技有限公司、上海勵兆科技有限公司、深圳市恒運昌真空技術有限公司、成都沃特塞恩電子技術有限公司等為我國遠程等離子體源代表企業。恒運昌專注于半導體設備核心零部件的研發、生產及銷售，其推出的遠程等離子體源已在半導體薄膜沉積、刻蝕、離子注入等環節獲得應用。
新思界
行業分析人士表示，遠程等離子體源作為一種等離子體發生裝置，應用前景較好。未來隨著全球半導體產業逐漸向我國大陸轉移，遠程等離子體源應用需求將日益旺盛。與海外發達國家相比，我國遠程等離子體源行業起步較晚，但發展勢頭迅猛，已有多家企業具備其自主研發及規模化生產實力。
關鍵字：
