垂直腔面發射激光器又稱垂直共振腔面射型激光,簡稱VCSEL或VCSELs,是一種垂直于芯片表面發射激光的半導體激光器。半導體激光器分為邊發射激光器(EEL)和VCSEL兩種類型,EEL是從側面發射激光,發散角較大,不同于EEL,VCSEL的激光出射方向垂直于襯底表面,發散角較小。
VCSEL光束沿垂直于襯底的方向出射,分為底發射、頂發射兩種結構。VCSEL概念最早于1977年提出,經過多年發展,VCSEL在基礎研究、材料生長、器件制作與集成等方面取得了不斷進步,應用也逐漸從光通信向光識別、光存儲、激光打印、3D傳感、消費電子、數據中心、汽車電子等領域擴展。
VCSEL典型結構包括布拉格反射鏡(DBR)、導電限制區、有源區及半導體襯底。砷化鎵(GaAs)、磷化銦(InP)是VCSEL常用襯底材料,近年來,我國砷化鎵、磷化銦市場布局企業增加,包括三安光電、乾照光電、云南鍺業、中科晶電等,這為VCSEL行業發展奠定了一定的原材料基礎。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2028中國垂直腔面發射激光器(VCSEL)行業市場現狀綜合研究及投資前景預測報告》顯示,VCSEL具有光束質量好、調制速度高、體積小、易于集成、閾值電流低等特點,近年來,憑借其優勢,VCSEL應用不斷擴展,全球市場空間隨之擴大,預計2024年將達12.5億美元以上,2024-2029年均復合增長率將保持在8.0%左右。VCSEL分為單模VCSEL和多模VCSEL,目前多模VCSEL是市場主流產品。
全球VCSEL市場參與者包括美國Lumentum、Coherent高意、德國通快TRUMPF、奧地利ams-OSRAM AG、縱慧激光、長光華芯、博升光電、睿熙科技等。目前全球VCSEL市場仍由國外企業占據主導,我國VCSEL企業以初創企業居多,研發、制造水平與國際先進水平之間尚有差距。
縱慧激光全稱常州縱慧芯光半導體科技有限公司,是全球領先的VCSEL企業之一,也是國內首家實現VCSEL量產的企業,截止至2023年8月底,縱慧激光VCSEL激光芯片累計出貨量突破1億顆,截止至2024年4月底,VCSEL芯片累計出貨量達2億顆,出貨量位居全球前列、國內第一。
新思界
行業分析人士表示,VCSEL應用場景廣泛,市場空間廣闊,我國VCSEL市場起步雖晚,但目前國內已出現全球性領先企業。目前VCSEL市場已進入優化階段,中國科學院微電子研究所、四川大學、長春理工大學等單位在VCSEL研究中已取得良好進展,為VCSEL優化奠定了基礎。
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