鈮靶材,采用高純度金屬鈮(Nb)制造而成的靶材,材料純度在99.95%及以上。在半導體、消費電子等產業持續快速發展背景下,鈮靶材需求量持續上升,行業發展前景廣闊。
鈮,化學符號Nb,屬于過渡金屬元素,是一種稀有金屬,為灰白色金屬,高純鈮延展性較高、質地較軟,具有高熔點、高抗腐蝕性、高導電性等特點。在全球范圍內,鈮資源主要分布在巴西,其次是加拿大,巴西鈮礦年產量占全球總產量的90%左右。我國鈮資源儲量少,且提煉難度大,需要依靠進口。
以鈮礦為原料冶煉后獲得氧化鈮,再加工為鈮錠、鈮條等,進一步加工可獲得鈮靶材。鈮靶材作為濺射靶材,在濺射鍍膜過程中,鈮原子以氧化物的形式沉積在基材表面形成薄膜。
平面鈮靶材的外形通常為方形、圓形,使用時,鈮靶材與背靶連接,材料濺射沉積在基材上形成薄膜,主要應用在半導體器件、光電器件等制造領域。旋轉鈮靶材的外形通常為圓柱形,使用時,物理旋轉使材料均勻沉積在基材表面,主要應用在顯示器、太陽能電池板等制造領域。
鈮靶材是一種重要的薄膜材料,可以廣泛應用在光學鏡頭、觸摸屏、集成電路、光纖、光伏電池,以及船舶、化工裝備等制造領域,以滿足這些產品的耐熱性、耐腐蝕性、導電性等性能提升需求。
新思界
行業分析人士表示,寧夏東方鉭業股份有限公司是我國最大的鉭、鈮產品生產企業,鉭、鈮產品生產技術達到國際先進水平,具有高純鈮生產能力。2025年1月,東方鉭業在回答投資者提問時表示,鉭靶、鈮靶分別作為半導體濺射靶材和平板顯示靶材的重要組成部分,在行業快速增長及國產替代的背景下將迎來快速發展。
在我國《中央企業科技創新成果產品手冊(2022年版)》中,中國有色礦業集團有限公司研制的光學鍍膜用鈮靶材被列入,產品包括平面鈮靶材與旋轉鈮靶材,材料純度99.95-99.98%,已經應用在德國萊寶、利達光電、上海承耀、北京華創等企業中。
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