我國半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模擴(kuò)大 利好電子級(jí)四甲氧基硅烷行業(yè)發(fā)展

　　電子級(jí)四甲氧基硅烷，外觀為無色透明液體狀，是純度≥99.5%、主要應(yīng)用于電子工業(yè)中的四甲氧基硅烷產(chǎn)品，其中的高端產(chǎn)品純度≥99.9999%。

 

　　四甲氧基硅烷，也稱硅酸四甲酯、正硅酸甲酯，英文簡(jiǎn)稱TMOS，分子式C4H12O4Si，一種有特殊氣味的液體，有毒性，有腐蝕性，熔點(diǎn)-4℃，沸點(diǎn)121℃，閃點(diǎn)29℃，不溶于水，遇水可水解，可與多種有機(jī)溶劑混溶，易燃燒，主要用來合成有機(jī)硅，以及制備涂料、粘合劑等。

 

　　根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2025年中國電子級(jí)四甲氧基硅烷市場(chǎng)專項(xiàng)調(diào)研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報(bào)告》顯示，電子級(jí)四甲氧基硅烷產(chǎn)品純度高、雜質(zhì)含量低、熱穩(wěn)定性好、化學(xué)穩(wěn)定性好、電絕緣性好。在電子工業(yè)中，電子級(jí)四甲氧基硅烷利用化學(xué)氣相沉積法（CVD）可以用來制備硅基薄膜，應(yīng)用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中；可以水解形成二氧化硅研磨粒子，具有良好的分散性、選擇性，能夠制備CMP研磨料，用于硅片、二氧化硅層間介質(zhì)拋光方面；可用作封裝材料，憑借良好密封性與絕緣性，能夠形成絕緣保護(hù)層，以確保集成電路的運(yùn)行穩(wěn)定性。

 

　　與電子級(jí)四乙氧基硅烷（電子級(jí)正硅酸乙酯）相比，電子級(jí)四甲氧基硅烷的二氧化硅含量更高，且價(jià)格較低，在用作二氧化硅研磨粒子時(shí)成本更低。

 

　　工業(yè)上，四甲氧基硅烷的制備方法主要是：以四氯化硅、甲醇為原料進(jìn)行反應(yīng)得到；以硅粉、甲醇為原料，在銅催化劑作用下反應(yīng)得到。湖北新藍(lán)天新材料股份有限公司是我國代表性電子級(jí)四甲氧基硅烷生產(chǎn)企業(yè)之一，其利用硅粉與甲醇的直接反應(yīng)法來制備四甲氧基硅烷，再經(jīng)多級(jí)提純獲得電子級(jí)四甲氧基硅烷。

 

　　新思界行業(yè)分析人士表示，湖北新藍(lán)天新材料股份有限公司可以提供有效含量≥99.5%的電子級(jí)四甲氧基硅烷產(chǎn)品，公司于2021年實(shí)現(xiàn)電子級(jí)四甲氧基硅烷商業(yè)化生產(chǎn)，目前已與國內(nèi)多家濕電子化學(xué)品廠商建立合作關(guān)系，能夠提供6N級(jí)電子級(jí)四甲氧基硅烷。2023年初，湖北硅元新材料科技有限公司開工建設(shè)年產(chǎn)32000噸醫(yī)用有機(jī)硅項(xiàng)目，其中包括2000噸/年的電子級(jí)四甲氧基硅烷產(chǎn)能。

 

　　我國四甲氧基硅烷生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量較多，但電子級(jí)四甲氧基硅烷生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量少。我國半導(dǎo)體、集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛，在國際貿(mào)易保護(hù)主義抬頭背景下，國內(nèi)必須完善濕電子化學(xué)品產(chǎn)業(yè)鏈，這利好我國電子級(jí)四甲氧基硅烷行業(yè)發(fā)展。

 

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