電子級四甲氧基硅烷，外觀為無色透明液體狀，是純度≥99.5%、主要應用于電子工業中的四甲氧基硅烷產品，其中的高端產品純度≥99.9999%。
四甲氧基硅烷，也稱硅酸四甲酯、正硅酸甲酯，英文簡稱TMOS，分子式C4H12O4Si，一種有特殊氣味的液體，有毒性，有腐蝕性，熔點-4℃，沸點121℃，閃點29℃，不溶于水，遇水可水解，可與多種有機溶劑混溶，易燃燒，主要用來合成有機硅，以及制備涂料、粘合劑等。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025年中國電子級四甲氧基硅烷市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示，電子級四甲氧基硅烷產品純度高、雜質含量低、熱穩定性好、化學穩定性好、電絕緣性好。在電子工業中，電子級四甲氧基硅烷利用化學氣相沉積法（CVD）可以用來制備硅基薄膜，應用于半導體器件生產中；可以水解形成二氧化硅研磨粒子，具有良好的分散性、選擇性，能夠制備CMP研磨料，用于硅片、二氧化硅層間介質拋光方面；可用作封裝材料，憑借良好密封性與絕緣性，能夠形成絕緣保護層，以確保集成電路的運行穩定性。
與電子級四乙氧基硅烷（電子級正硅酸乙酯）相比，電子級四甲氧基硅烷的二氧化硅含量更高，且價格較低，在用作二氧化硅研磨粒子時成本更低。
工業上，四甲氧基硅烷的制備方法主要是：以四氯化硅、甲醇為原料進行反應得到；以硅粉、甲醇為原料，在銅催化劑作用下反應得到。湖北新藍天新材料股份有限公司是我國代表性電子級四甲氧基硅烷生產企業之一，其利用硅粉與甲醇的直接反應法來制備四甲氧基硅烷，再經多級提純獲得電子級四甲氧基硅烷。
新思界
行業分析人士表示，湖北新藍天新材料股份有限公司可以提供有效含量≥99.5%的電子級四甲氧基硅烷產品，公司于2021年實現電子級四甲氧基硅烷商業化生產，目前已與國內多家濕電子化學品廠商建立合作關系，能夠提供6N級電子級四甲氧基硅烷。2023年初，湖北硅元新材料科技有限公司開工建設年產32000噸醫用有機硅項目，其中包括2000噸/年的電子級四甲氧基硅烷產能。
我國四甲氧基硅烷生產企業數量較多，但電子級四甲氧基硅烷生產企業數量少。我國半導體、集成電路產業發展迅猛，在國際貿易保護主義抬頭背景下，國內必須完善濕電子化學品產業鏈，這利好我國電子級四甲氧基硅烷行業發展。
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