電子級八氟環丁烷,是一種電子氣體,純度>99.999%,在半導體領域應用。
八氟環丁烷也稱為全氟環丁烷,是一種有機化合物,化學式為C4F8,熔點為-41.4℃,沸點為-6℃,密度為6.9kg/m3,常溫下為無色氣體,具有化學性能穩定、絕緣性良好、臭氧消耗潛勢值ODP為零、無毒無味等優點。
根據應用領域不同,八氟環丁烷分為工業級八氟環丁烷和電子級八氟環丁烷。工業級八氟環丁烷可作為發泡劑、制冷劑、食品氣霧噴射劑、氣溶膠、熱泵工作流體等,在化工、制冷、電力、食品工業等領域應用。電子級八氟環丁烷純度高,雜質含量低,主要作為清洗劑、蝕刻劑,用于半導體制造。
傳統八氟環丁烷純化技術包括精餾法、吸附分離法、膜分離法等,這些方法存在生產安全性低、產物收率低等缺陷。2023年8月,山東東岳綠冷科技有限公司取得一項“電子級八氟環丁烷的純化系統及純化方法”專利,該發明具有生產系統運行穩定、產品純度可達到99.9995%以上等優點。
為促進電子級八氟環丁烷行業規范化、高質量發展,近年來我國出臺了多項相關標準,包括團體標準《電子級八氟環丁烷(T/CCGA 30004—2019)》、國家標準《電子氣體 八氟環丁烷(GB/T 43977-2024)》等。
根據新思界產業研究中心發布的
《2026-2030年全球及中國電子級八氟環丁烷行業研究及十五五規劃分析報告》顯示,2024年中國半導體市場規模約為17600億元,占全球市場份額超三分之一。伴隨著半導體行業高速發展,釋放大量濕電子化學品應用需求,電子級八氟環丁烷作為特種含氟電子氣體,我國市場需求將隨之釋放,市場發展空間持續拓展。
國外電子級八氟環丁烷生產企業包括杜邦、大陽日酸株式會社、Kanto Denka Kogyo等。我國電子級八氟環丁烷生產企業包括山東東岳綠冷科技有限公司、福建德爾科技股份有限公司、金宏氣體股份有限公司等。2025年7月,山東東岳綠冷科技有限公司“含氟電子特氣優化改造項目”環評文件受理公示,其中包括電子級八氟環丁烷20t/a。
新思界
行業分析人士表示,電子級八氟環丁烷為綠色環保型特種氣體,在半導體領域發展空間較大。隨著生產工藝不斷進步、相關標準日趨完善、半導體市場規模持續壯大,我國電子級八氟環丁烷市場發展速度進一步加快。目前我國已有少數企業具備電子級八氟環丁烷生產實力,受領先企業加快產能布局利好,電子級八氟環丁烷行業供給能力持續提升。
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