電子級氟化氫，又稱電子級氫氟酸，是一種高純度氟化氫。電子級氟化氫作為電子化學品，具備極高腐蝕性，在半導體制造、光伏發電、顯示面板等領域應用較多。按照用途不同，電子級氟化氫可分為UPSSS、UPSS、UPS、UP以及EL五個級別。
提純為電子級氟化氫制備關鍵環節，減壓蒸餾法、精餾法、氣體吸收法、亞沸蒸餾法等為其主要提純方法。亞沸蒸餾法指先將無水氟化氫置于緩沖槽中，經初級過濾、低溫蒸發、提純等流程制得成品，該法需對溫度以及原材料用量進行嚴格控制，在實驗室制備過程中應用較多；氣體吸收法具有運行成本低、操作流程簡單等優勢，可用于批量生產電子級氟化氫。
從細分產品來看，UPSSS級別電子級氟化氫的金屬雜質含量不到10ppt，已達到由國際SEMI標準化組織制定的濕電子化學品純凈度最高標準（SEMIG5），為電子級氟化氫市場新興產品。目前，我國UPSSS級別電子級氟化氫主要用于12寸晶圓刻蝕過程中，未來隨著大尺寸晶圓出貨量不斷增長，其市場需求將日益旺盛。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年中國電子級氟化氫行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示，從應用領域來看，電子級氟化氫主要應用于半導體制造、光伏發電、顯示面板等領域。在半導體制造領域，電子級氟化氫可用于刻蝕硅基板上的二氧化硅層，還可用于晶體管以及其他電子元器件制造過程中；在光伏發電領域，其可用于光伏電池片的清洗制絨環節；在顯示面板領域，其可用于液晶顯示面板的清洗和刻蝕工序中。在應用需求帶動下，我國電子級氟化氫市場規模不斷增長，2023年達到近90億元。
我國已有多家企業具備電子級氟化氫批量生產能力，主要包括中欣氟材、多氟多、錦洋高新材料、巨化股份、晶瑞化學、福多邦等。多氟多為我國電子級氟化氫龍頭企業，具備UPSSS級別產品供應能力。據多氟多公司公告顯示，2023年公司電子級氟化氫產能達到6萬噸。
新思界
行業分析人士表示，電子級氟化氫作為濕電子化學品，在半導體制造領域擁有廣闊應用前景。未來隨著市場需求逐漸釋放，其行業發展速度有望加快。目前，我國電子級氟化氫生產企業眾多，未來伴隨國家政策支持以及技術成熟度提升，我國高品質電子級氟化氫產能將不斷擴張，產量將進一步增長。
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