滲硅碳化硅（SiSiC）又稱硅碳化硅復(fù)合材料，是由碳化硅（SiC）基體和滲入的硅（Si）相組成的一種高性能材料。
碳化硅是一種由純硅和純碳組成的半導(dǎo)體基材。碳化硅燒結(jié)工藝多樣，根據(jù)燒結(jié)工藝不同可分為反應(yīng)燒結(jié)碳化硅（RBSiC）、無壓燒結(jié)碳化硅（PSSiC）、熱壓燒結(jié)碳化硅（HPSiC）、重結(jié)晶碳化硅（RSiC）、高溫?zé)岬褥o壓燒結(jié)碳化硅（HIPSiC）、化學(xué)氣相沉積碳化硅等。
滲硅碳化硅是在反應(yīng)燒結(jié)碳化硅、重結(jié)晶碳化硅等基礎(chǔ)上進行液相或氣相滲硅，碳化硅的氣孔由Si填充，生成更加致密的滲硅碳化硅。滲硅碳化硅滲硅工藝分為液體滲透、氣體滲透兩大類，其中液體滲透成本低，可用于大批量生產(chǎn)，氣體滲透成本高，但陶瓷密度、硅均勻性更好，可用于要求較高的場景。
碳化硅可與氧化物、莫來石、氮化硅、硅等結(jié)合相結(jié)合來制成不同的碳化硅耐火材料，碳化硅與硅相結(jié)合的滲硅碳化硅具有無開口氣孔（孔隙率低）、體積穩(wěn)定性好、電阻低、抗折能力強、使用壽命長等特點，可用于生產(chǎn)復(fù)雜形狀的大型零件或中空結(jié)構(gòu)，如太空反射鏡，在航天航空、半導(dǎo)體設(shè)備、耐火材料、汽車制造等領(lǐng)域應(yīng)用空間廣闊。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025-2030年中國滲硅碳化硅（SiSiC）行業(yè)市場深度調(diào)研及發(fā)展前景預(yù)測報告》顯示，近年來，全球市場對高性能材料的需求不斷釋放，這為滲硅碳化硅市場發(fā)展帶來了強勁動力，2023年全球滲硅碳化硅市場規(guī)模約50億元，預(yù)計2024-2029年，全球滲硅碳化硅市場年均復(fù)合增長率將達(dá)6%以上。
全球滲硅碳化硅市場參與者包括英國Refel公司、日本旭硝子公司、日本京瓷公司、日本東洋陶器株式會社、美國CeramTec公司、德國GT Advanced公司等。我國滲硅碳化硅相關(guān)企業(yè)包括山東華美新材料科技股份有限公司、湖南仁龍新材料有限公司、濰坊中加碳化硅科技有限公司、濰坊兆泰工程陶瓷有限公司、山東中鵬特種陶瓷有限公司等。
新思界
行業(yè)分析人士表示，滲硅碳化硅具有優(yōu)異的機械強度、耐腐蝕性、耐磨性和耐熱性，在航天航空、半導(dǎo)體、汽車制造等領(lǐng)域應(yīng)用空間廣闊。國際廠商在滲硅碳化硅領(lǐng)域擁有先發(fā)、技術(shù)等優(yōu)勢，近年來，我國滲硅碳化硅企業(yè)在技術(shù)研發(fā)、市場拓展等方面不斷取得突破，在襯底/外延領(lǐng)域已與國際廠商展開競爭。
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