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          PHS樹脂(聚對羥基苯乙烯樹脂)可用于制備KrF光刻膠 本土企業(yè)正在積極推進產(chǎn)能建設

          2025-09-10 17:11      責任編輯:楊光    來源:www.heb-baidu.cn    點擊:
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                  2025年6月,八億時空旗下子公司浙江時光新能源年產(chǎn)50噸高端光刻膠樹脂(PHS)和200噸光敏聚酰亞胺(PSPI)項目通過環(huán)評審批,項目總投資額達2億元。未來隨著本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力,我國PHS樹脂產(chǎn)能將進一步擴張。

                  PHS樹脂,又稱聚對羥基苯乙烯樹脂,通常以對羥基苯乙烯為單體聚合而成。PHS樹脂的主鏈由苯乙烯單元構(gòu)成,側(cè)鏈帶有羥基官能團,具備化學相容性、感光性以及熱穩(wěn)定性,作為光刻膠樹脂,在KrF光刻膠生產(chǎn)過程中應用較多,半導體制造領域為其終端市場。

                  隨著本土企業(yè)及相關科研機構(gòu)持續(xù)發(fā)力,我國PHS樹脂專利數(shù)量不斷增加,主要包括《一種光刻膠用PHS樹脂的選擇性水解制備方法》、《一種分子量窄分布且高透光性PHS樹脂及其合成方法與應用》、《一種PHS樹脂的制備方法》等。未來隨著研究深入,我國PHS樹脂技術水平將得到進一步提升。

                  根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2025-2030年中國PHS樹脂(聚對羥基苯乙烯樹脂)行業(yè)市場深度調(diào)研及發(fā)展前景預測報告》顯示,PHS樹脂屬于光刻膠專用樹脂,可用于制備KrF光刻膠。近年來,伴隨全球半導體產(chǎn)業(yè)逐漸向我國大陸轉(zhuǎn)移,我國光刻膠行業(yè)發(fā)展態(tài)勢持續(xù)向好。KrF光刻膠適用于8英寸晶圓制備過程中。在行業(yè)發(fā)展初期,受技術壁壘高、生產(chǎn)成本高等因素限制,全球KrF光刻膠供應較為短缺,市場主要集中于日本、美國和韓國。近年來,伴隨技術進步,我國KrF光刻膠國產(chǎn)化率有所提升,這將為PHS樹脂行業(yè)發(fā)展提供有利條件。

                  全球PHS樹脂主要生產(chǎn)企業(yè)包括日本東曹株式會社(TOSOH)、日本信越化學株式會社(Shin-Etsu)、美國杜邦公司(DuPont)等。在本土方面,隨著技術成熟度提升,我國已有多家企業(yè)布局PHS樹脂行業(yè)研發(fā)及生產(chǎn)賽道,主要包括八億時空、彤程新材、華飛微電子、北旭電子、秀朗新材料等。八億時空為我國PHS樹脂代表企業(yè),其產(chǎn)品的分子量分布、單體溶劑殘留控制以及金屬離子雜質(zhì)控制等關鍵指標已達到全球先進水平。

                  新思界行業(yè)分析人士表示,受益于我國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度加快,PHS樹脂作為光刻膠專用樹脂,市場空間將進一步擴展。與海外發(fā)達國家相比,我國PHS樹脂行業(yè)起步較晚,但發(fā)展勢頭迅猛,已有多家企業(yè)具備其自主研發(fā)及規(guī)模化生產(chǎn)實力。未來隨著技術進步,我國PHS樹脂行業(yè)景氣度將進一步提升。
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