乙基三氯硅烷，別名三氯乙基硅烷，化學式為C2H5Cl3Si，分子量為163.506，外觀為無色透明液體狀，有毒性，有刺激性，密度1.238g/cm3，熔點-106℃，沸點99℃，閃點22℃，可溶于溶于乙醚、苯、庚烷等有機溶劑，可燃燒，存儲需密封并遠離火種、熱源、氧化劑。
乙基三氯硅烷的制備方法主要有：以四氯化硅、金屬鎂、溴乙烷為原料，在一定溫度條件下通過格氏反應制得，此法成本高、產率較低，通常應用在實驗室中；以硅粉、氯乙烷為原料，添加銅催化劑，在高溫條件下進行反應得到粗品，再經精餾分離得到成品，此法原料易得，可連續化大規模生產，但副產物較多，需采用有效精餾技術進行分離純化。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025年中國乙基三氯硅烷市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示，乙基三氯硅烷是一種重要的硅烷中間體。例如：以乙基三氯硅烷、醋酸酐為原料進行反應，產物為乙基三乙酰氧基硅烷、乙酰氯，此法是乙基三乙酰氧基硅烷的主流生產工藝。乙基三乙酰氧基硅烷是脫酸型單組分室溫硫化硅橡膠（RTV-1）的交聯劑，主要應用在酸性硅酮密封膠中，接觸空氣中的水分后可使密封膠固化，同時提升密封膠強度。
通過親核取代反應，在一定溫度條件下，乙基三氯硅烷與甲醇反應可以制備乙基三甲氧基硅烷，與乙醇反應可以制備乙基三乙氧基硅烷，副產物均為氯化氫。乙基三甲氧基硅烷、乙基三乙氧基硅烷可以用作硅烷偶聯劑、有機合成中間體。
由于乙基三氯硅烷是生產硅烷的中間體，有實力的企業在建設有機硅交聯劑、有機硅偶聯劑等生產項目時，通常會配套建設乙基三氯硅烷產能。例如，2025年1月，湖北今越新材料有限公司“年產3600噸有機硅光電子產品及2800噸乙酰氯項目”環價一次公示，項目投產后具有年產1000噸甲基三乙酰氧基硅烷，1000噸丙基三乙酰氧基硅烷，800噸乙基三乙酰氧基硅烷有機硅交聯劑，800噸乙基三氯硅烷等生產能力。
新思界
行業分析人士表示，與丙基三氯硅烷相比，我國乙基三氯硅烷生產企業數量較少，生產規模較小，主要是由于其下游硅烷偶聯劑、硅烷交聯劑等產品市場需求較小，導致其價格較高，但在部分對性能有特殊要求的酸性硅酮密封膠制備領域，其下游產品乙基三乙酰氧基硅烷仍擁有發展空間，因此乙基三氯硅烷擁有良好發展前景。
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