高純硅烷氣，指純度達99.9999%（6N）以上的特種氣體。高純硅烷氣外觀呈無色氣體，含刺激性氣味，具備反應活性高、純度高等特點，在電子電氣、光伏電池、鋰離子電池制造過程中擁有巨大應用潛力。
歧化法、鎂硅法、氯硅法、ZSN法為高純硅烷氣主要制備方法。歧化法為高純硅烷氣傳統制備方法，美國UCC公司率先采用該法制得成品。歧化法具備成品收率低、能耗高、制備流程復雜等問題，目前已被ZSN法等新興制備方法所替代。ZSN法為我國企業自主研發的高純硅烷氣制備方法，具備綠色環保、能耗低、運行成本低等優勢，適合進行連續化生產。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025年中國高純硅烷氣市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示，高純硅烷氣作為一種電子特氣，在眾多領域擁有巨大應用潛力，主要包括電子電氣、光伏電池、鋰離子電池等。在電子電氣領域，高純硅烷氣可用于集成電路以及顯示面板制造過程中；在光伏電池領域，其可用于制造TOPCon光伏電池的多晶硅薄膜和鈍化層結構；在鋰離子電池領域，其可用于制造鋰離子電池硅碳負極材料。未來伴隨下游行業發展速度加快，我國高純硅烷氣市場空間將得到進一步擴展。
在行業發展初期，受技術壁壘高、生產成本高等因素限制，我國高純硅烷氣高度依賴進口。美國REC Silicon公司、德國瓦克化學公司（Wacker）、日本德山株式會社（TOKUYAMA）等為全球知名高純硅烷氣供應商。目前，REC Silicon已與美國新能源技術公司Sila Nanotechnologies達成合作，為其批量供應高純硅烷氣。
近年來，隨著本土企業持續發力，我國高純硅烷氣市場國產化進程有所加快。我國高純硅烷氣主要生產企業包括硅烷科技、中能硅業、天瑞硅材料等。硅烷科技為中國平煤神馬集團控股子公司，專注于氫硅材料的研發、生產及銷售，已具備8N級高純硅烷氣規模化生產實力，技術水平位居我國行業領先。天瑞硅材料擁有多項高純硅烷氣相關專利，目前正在推進5000噸/年硅烷氣充裝項目建設。
新思界
行業分析人士表示，高純硅烷氣在眾多領域擁有廣闊應用前景，未來隨著下游行業發展速度加快，其市場空間將得到進一步擴展。與海外發達國家相比，我國高純硅烷氣行業起步較晚，但發展勢頭迅猛，已有多家企業掌握其高性能產品核心制備技術。
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