PHS聚羥基苯乙烯樹脂是一種用于生產(chǎn)KrF光刻膠的樹脂。與傳統(tǒng)酚醛樹脂相比,PHS聚羥基苯乙烯樹脂及其衍生物結(jié)構(gòu)中含有大量苯環(huán),抗刻蝕能力強,在248nm KrF光刻膠應(yīng)用中具有良好的透光性,同時具有極佳的熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性、光敏性以及溶解選擇性,可用作光刻膠感光樹脂以及成膜材料,是生產(chǎn)KrF光刻膠的關(guān)鍵原料,主要用于8英寸及12英寸等大尺寸硅片制備。
受半導(dǎo)體自主政策推動,中國PHS聚羥基苯乙烯樹脂市場在國家集成電路產(chǎn)業(yè)基金扶持、地方半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)園建設(shè)及本土晶圓廠產(chǎn)能擴張的多重支撐下也快速擴大,八億時空建成產(chǎn)線,彤程新材實現(xiàn)量產(chǎn)應(yīng)用,但市場仍由日本曹達、美國杜邦、日本丸善石化等外資企業(yè)主導(dǎo),高度依賴進口。
PHS聚羥基苯乙烯樹脂合成工藝復(fù)雜,生產(chǎn)涉及活性陰離子聚合、超純化提純等核心技術(shù),對分子量分布控制、金屬雜質(zhì)去除等指標(biāo)要求嚴(yán)苛。從國內(nèi)外技術(shù)發(fā)展情況來看,目前,國際企業(yè)如日本曹達、美國杜邦通過長期技術(shù)積累,在聚合工藝和純化技術(shù)上占據(jù)優(yōu)勢。國內(nèi)企業(yè)正快速追趕,如八億時空、彤程新材通過自主研發(fā),實現(xiàn)窄分布PHS樹脂的量產(chǎn)。例如,八億時空采用微通道反應(yīng)系統(tǒng),實現(xiàn)連續(xù)化生產(chǎn),產(chǎn)品各項指標(biāo)優(yōu)異,在金屬離子殘留控制(<1ppb/個)、樹脂分子量分布(PDI<1.2)等關(guān)鍵指標(biāo)方面達到了較高水平,并且批次穩(wěn)定性良好(重均分子量批次偏差1.5%),通過客戶驗證并應(yīng)用。
當(dāng)前,中國PHS聚羥基苯乙烯樹脂市場由外資企業(yè)及本土企業(yè)共同參與競爭。其中,代表性的外資品牌有日本曹達、美國杜邦、日本丸善石化等;本土企業(yè)主要包括彤程新材料集團股份有限公司、北京八億時空液晶科技股份有限公司等。整體上看,受較高的技術(shù)壁壘等因素影響,中國PHS聚羥基苯乙烯樹脂行業(yè)參與者數(shù)量不多,市場競爭相對緩和。
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