按照純度不同，氦氣可分為高純氦氣以及超純氦氣兩種類型，其中超純氦氣以6N級超純氦氣以及6N9級超純氦氣為代表。6N級超純氦氣，指純度達到99.9999%以上的氦氣產品。6N級超純氦氣具備雜質含量低、不易燃燒、導熱性好、輕量化等特點，在核工業(yè)、半導體制造、醫(yī)療衛(wèi)生、航空航天、科學研究等眾多領域擁有潛在應用價值。
6N級超純氦氣主要從天然氣中提取制得。我國地域遼闊，天然氣資源較為豐富。近年來，隨著油氣勘探技術不斷進步，我國天然氣產量持續(xù)增長。據國家能源局統(tǒng)計數據顯示，2024年我國油氣總產量首次超4億噸油當量，天然氣產量達到2464億立方米。原材料優(yōu)勢將為我國6N級超純氦氣行業(yè)發(fā)展奠定良好基礎。
提純?yōu)?N級超純氦氣制備關鍵環(huán)節(jié)。膜分離法、低溫深冷法、吸附法、膜分離-PSA法、膜分離-深冷法以及深冷-膜分離-PSA法等為6N級超純氦氣提純方法。深冷-膜分離-PSA法屬于新型6N級超純氦氣制備方法。受益于技術進步，我國6N級超純氦氣行業(yè)發(fā)展速度不斷加快。
根據新思界產業(yè)研究中心發(fā)布的《
中國6N級超純氦氣產業(yè)發(fā)展及“十五五規(guī)劃”建議報告》顯示，6N級超純氦氣作為一種特種氣體，在眾多領域擁有潛在應用價值，主要包括核工業(yè)、半導體制造、醫(yī)療衛(wèi)生、航空航天、科學研究等。在半導體制造領域，6N級超純氦氣作為保護氣體，可用于晶圓蝕刻環(huán)節(jié)；在醫(yī)療衛(wèi)生領域，其可用于核磁共振設備中；在航空航天領域，其可用于火箭燃料箱中。未來隨著研究深入，6N級超純氦氣應用范圍將進一步擴展。
我國6N級超純氦氣主要生產企業(yè)包括山西豐圣能源科技有限公司、安徽萬瑞冷電科技有限公司、廣東華特氣體股份有限公司等。豐圣能源采用“膜分離+PSA+合金脫氫”工藝制備6N級超純氦氣，目前已實現量產。萬瑞冷電利用自研低溫精制及脫氖裝置，成功制備出6N9級超純氦氣。華特氣體已與Gigaphoton和ASML達成合作，為其批量供應6N級超純氦氣。
新思界
行業(yè)分析人士表示，6N級超純氦氣性能優(yōu)異，在眾多領域擁有廣闊應用前景。未來隨著我國半導體以及航空航天等高新技術產業(yè)發(fā)展速度加快，6N級超純氦氣市場空間將進一步擴展。受益于技術進步，我國已有多家企業(yè)具備6N級超純氦氣量產能力。
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