全自由度磁懸浮泵是一種特殊的磁懸浮泵,采用磁懸浮技術實現在六個方位(即六自由度)上懸浮和旋轉,具有無接觸、無摩擦、無需潤滑、精度高、可靠性高、負載高、噪音低、無振動等特點。自由度(DOF)是指物體能夠對坐標系進行獨立運動的數目,一個簡單的物體有六個自由度。
相比于傳統機械泵,全自由度磁懸浮泵消除了因接觸、摩擦產生的磨損和能量損耗問題,同時全自由度磁懸浮泵也可根據工作狀態實時調整位置,工作穩定性、可靠性更高。根據新思界行業產業研究中心發布的《
2024-2029年全自由度磁懸浮泵行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示,全自由度磁懸浮泵適用于潔凈超高真空環境中,在半導體、生物醫藥、醫療器械、新能源、航天航空等領域應用空間廣闊。
在半導體領域,全自由度磁懸浮泵可用于濕制程清洗、電鍍、化學機械拋光(CMP)、濕法刻蝕等環節的化學試劑和拋光液傳送;在生物醫藥領域,全自由度磁懸浮泵可用于輸送血液、脂肪乳劑、化學藥液等流體。
多自由度是磁懸浮泵技術設計難點,由于技術研發難度大,全自由度磁懸浮泵應用受到一定限制。長期以來,全自由度磁懸浮泵技術由瑞士企業所壟斷,尤其是用于超純凈強腐蝕應用環境的磁懸浮泵,我國市場需求依賴進口,全自由度磁懸浮泵國產替代需求迫切。
近年來,槃實科技、眾杰來同、中科科儀、南京工業職業技術大學等企業和院校加大了對高性能磁懸浮泵的研究力度,并取得了重要突破。如南京工業職業技術大學團隊研發出了主要用于半導體領域超純凈強腐蝕應用環境的“全自由度磁懸浮離心式流體泵”,攻克了半導體領域核心關鍵部件“卡脖子”難題。
相較于進口產品,國產全自由度磁懸浮泵采購費用低、供貨周期短。憑借其優勢,“全自由度磁懸浮離心式流體泵”受到了國內企業的青睞,目前該產品已進入量產銷售階段,累計銷售千余套。
新思界
行業分析人士表示,全自由度磁懸浮泵技術研發難度大,要實現其全自由度懸浮和旋轉,需攻克轉子動平衡檢測、懸浮旋轉解耦設計及控制算法等一系列技術難題。目前我國已打破國外技術壟斷,國產全自由度磁懸浮泵將憑借高性價比、短供貨周期等優勢搶占更多市場。