勻膠顯影機，指在半導體制造工藝中用于光刻膠涂布和顯影的設備，通常與光刻機配套使用。勻膠顯影機具備控制精度高、自動化程度高等特點，對于半導體器件的質量及性能起到重要作用。按照工作方式不同，勻膠顯影機可分為手動勻膠顯影機、全自動勻膠顯影機以及半自動勻膠顯影機三種類型。
全自動勻膠顯影機為新興勻膠顯影機，其在安全性、控制精度、自動化程度以及工作效率等方面具備優勢，適用于大尺寸晶圓勻膠工藝中。受益于國家政策支持以及技術進步，我國勻膠顯影機行業逐漸往高質量方向發展，帶動全自動勻膠顯影機市場占比不斷提升。未來伴隨全自動勻膠顯影機應用需求日益旺盛，我國勻膠顯影機行業發展速度將有所加快。
勻膠顯影機通常由浸沒式光刻工藝配套單元、晶圓盒工作站、工藝處理單元以及光刻機聯機接口四部分組成。浸沒式光刻工藝配套單元適用于浸沒式光刻工藝中；晶圓盒工作站包含機械手臂以及傳送裝置；工藝處理單元包含顯影單元、冷盤、熱盤、旋涂模塊、增粘模塊等，為勻膠顯影機核心組成部分；光刻機聯機接口主要負責與光刻機連接，以完成復雜光刻過程。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年勻膠顯影機行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，勻膠顯影機為半導體制造工藝中使用的重要設備，能夠在晶圓片表面均勻涂覆光刻膠，為后續工藝提供圖案模板。隨著本土企業持續發力，我國晶圓產能持續擴張，產量不斷增長。2023年我國晶圓月均產能達到近660萬片，同比增長近15%。未來隨著下游行業發展速度加快，我國勻膠顯影機市場空間將進一步擴展。
全球勻膠顯影機主要生產商包括日本東京電子、日本迪恩士電子、美國Laurell等。我國勻膠顯影機行業起步較晚，近年來在應用需求拉動下，本土企業在研發能力、生產技術等方面不斷進步，帶動其高質量產品市場占比不斷提升。雷博微電子、芯源微、沙芯科技等為我國勻膠顯影機主要生產商。
雷博微電子為我國較早布局勻膠顯影機行業研發及生產賽道的企業之一，其產品主要應用于微電子制造領域。新思界
行業分析人士表示，預計未來一段時間，隨著本土企業持續發力，我國勻膠顯影機行業將逐漸往高質量方向發展。
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