鉬鈮合金靶材是重要面板用金屬靶材 我國企業布局力度不斷加大

　　鉬鈮合金靶材，以金屬鉬（Mo）、金屬鈮（Nb）為主要成分，其純度高，通常達到99.95%以上，可以濺射沉積得到高質量薄膜。鉬鈮合金靶材具有優良的機械性能、耐腐蝕性能、耐高溫性能、抗氧化性能、導電導熱性能。

 

　　根據新思界產業研究中心發布的《2025-2030年中國鉬鈮合金靶材行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示，鉬鈮合金靶材的性能受成分、純度、氧含量、生產工藝等多重因素影響，高品質產品對生產企業的實力要求較高。憑借優良的物理化學性質，鉬鈮合金靶材在薄膜沉積領域發揮著重要作用，可以廣泛應用在半導體、平板顯示、超導、光伏、醫療器械、航空航天等領域。

 

　　現階段，TFT-LCD（薄膜晶體管液晶顯示器）依然是主流的顯示技術之一，TFT-LCD面板制造過程中，需要采用金屬靶材，鉬鈮合金靶材是其中之一。京東方、華星光電、天馬微電子等本土企業在我國以及全球TFT-LCD市場中的份額占比不斷提高。在此背景下，我國TFT-LCD面板行業對鉬鈮合金靶材的需求有望持續增長。

 

　　為避免被卡脖子，以及受利益吸引，我國鉬鈮合金靶材研究與生產企業正在增多。山東格美鎢鉬材料股份有限公司是一家液晶顯示用鉬鈮合金靶材重要生產企業，鉬鈮合金靶材與鉬鈦合金靶材是其重點產品，2022年國內市場占有率達到80%。

 

　　金堆城鉬業股份有限公司掌握了大規格鉬鈮合金靶材核心制備技術，可用于高世代線液晶面板制造中，其制備的鉬鈮合金管狀靶材直徑＞150mm，長度2100mm，純度99.99%，氧含量＜500ppm。根據金鉬股份年報顯示，2024年，公司營業收入135.71億元，同比增長17.68%，歸母凈利潤29.83億元，同比下降3.76%。

 

　　新思界行業分析人士表示，我國鉬鈮合金靶材布局企業還有先導薄膜材料（安徽）有限公司、東莞市塔基特靶材科技有限公司、福建阿石創新材料股份有限公司等，相關專利主要有“一種鉬鈮靶材及其制備方法”、“一種高強高韌鉬鈮合金靶材及其制備方法和應用”、“一種低氧鉬鈮合金靶材生產線及其工藝流程”、“一種鉬鈮合金靶材及其制備方法”等。

 

　　2025年3月，先導薄膜材料（安徽）有限公司公開了一項名為“一種鉬鈮靶材及其制備方法”的發明專利，鉬鈮靶材中的鉬元素含量為40wt%~60wt%，余量為鈮元素和不可避免的雜質，可以改善濺射鍍膜性能，使濺射薄膜的比阻抗、應力、耐腐蝕性等各種性能達到均衡。

 

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