曲面硅電極，又稱硅曲面電極，指由高純單晶硅經精密加工而成的表面具有曲面結構的等離子刻蝕設備組件。與傳統平面電極相比，曲面硅電極具備耐腐蝕、結構穩定性佳、能減少顆粒污染、增加等離子體密度、改善氣體分布均勻性等優勢，在顯示面板、集成電路、傳感器、照明系統、微機電系統（MEMS）等眾多領域擁有廣闊應用前景。
單晶硅為曲面硅電極主要原材料，占據其較大生產成本。單晶硅可通過直拉法以及懸浮區熔法制得，具備純度高、電學性能好、熱穩定性佳、光電轉換效率高等優勢，應用范圍較廣。受益于技術進步以及市場需求日益旺盛，我國單晶硅產量不斷增長，這將為曲面硅電極行業發展提供有利條件。
在行業發展初期，曲面硅電極核心制備技術被海外發達國家掌握，我國需求高度依賴進口。近年來，隨著技術進步，我國曲面硅電極市場國產化進程有所加快。五軸精密磨削技術為我國自主研發的曲面硅電極制備技術，具備生產效率高、成品質量好等優勢。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025年中國曲面硅電極（硅曲面電極）市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示，曲面硅電極為等離子刻蝕設備重要組件，在眾多領域擁有廣闊應用前景。近年來，隨著全球半導體產業向我國大陸轉移，我國集成電路產量不斷增長。據國家工信部統計數據顯示，2025年1-7月，我國集成電路產量達到2946億塊，同比增長10.4%。等離子刻蝕工藝能夠滿足集成電路圖形轉移、材料去除控制以及結構加工等要求，未來隨著應用需求增長，其行業發展速度有望加快。
我國曲面硅電極主要生產企業包括重慶臻寶科技股份有限公司、蕪湖通潮精密機械股份有限公司、山東神工化工集團股份有限公司等。臻寶科技專注于先進陶瓷材料、半導體和泛半導體設備核心零部件的研發、生產及銷售，其自主研發的刻蝕設備用硅曲面電極11184，已成功入選由重慶市經信委員會發布的《2024年度重慶市重大產業技術創新產品名單》。
新思界
行業分析人士表示，隨著我國集成電路產能持續擴張，曲面硅電極作為其刻蝕設備重要組件，市場需求不斷增長。與海外發達國家相比，我國曲面硅電極行業起步較晚，但發展勢頭迅猛，本土企業已掌握其高性能產品制備技術。
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