超結MOSFET,又稱SJ-MOSFET,全稱為超結金屬氧化物半導體場效電晶體管,指采用超結技術制成的一種先進功率半導體器件。與傳統MOSFET相比,超結MOSFET具備動態損耗低、導通電阻低、兼容性好、靈活性高等特點,在工業控制、消費電子、新能源汽車、開關電源等領域應用廣泛。
超結MOSFET制備工藝包括刻槽回填工藝以及多次外延工藝兩種。刻槽回填工藝指將n型外延層沉積在n+型襯底上,經刻蝕形成溝槽,再利用p型摻雜外延層進行回填,最后經過研磨制得成品;多次外延工藝指將n型外延層沉積在高摻雜n型襯底上,注入硼離子,經過重復外延生長、熱擴散等流程制得成品,該法易出現界面不平整問題,需對熱擴散時間進行嚴格把控。
超結MOSFET在眾多領域應用廣泛,主要包括工業控制、消費電子、新能源汽車、開關電源等。在工業控制領域,超結MOSFET可應用于工業電機驅動系統中;在消費電子領域,其可安裝于智能手機、平板電腦等消費電子產品的DC/DC轉換器中;在新能源汽車領域,其可安裝于車載充電器(OBC)以及汽車電池管理系統中。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025年中國超結MOSFET(SJ-MOSFET)市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示,在應用需求帶動下,超結MOSFET市場空間不斷擴展。2024年全球超結MOSFET市場規模達到近50億美元,同比增長超過10%。未來隨著技術進步,超結MOSFET行業發展速度將進一步加快。預計到2030年,全球超結MOSFET市場規模將突破90億美元。
全球超結MOSFET市場主要參與者包括德國英飛凌科技公司(Infineon)、美國安森美半導體公司(ON Semiconductor)等。英飛凌為全球較早使用多次外延工藝制備超結MOSFET的企業,產品已在眾多領域獲得廣泛應用。
在本土方面,我國超結MOSFET主要生產商包括長晶科技、尚陽通科技、芯一代、協昌科技、華微電子、瑤芯微、新潔能等。新潔能專注于MOSFET、IGBT等半導體功率器件的研發、生產及銷售,擁有多項超結MOSFET相關專利。
新思界
行業分析人士表示,超結MOSFET作為MOSFET細分產品,在眾多領域應用廣泛。未來隨著新能源汽車、消費電子等行業發展速度加快,超結MOSFET市場空間將得到進一步擴展。與海外發達國家相比,我國超結MOSFET行業起步較晚,但發展勢頭迅猛,已有多家企業具備其自主研發及規模化生產實力。
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