電性失效分析(EFA)是半導(dǎo)體檢測分析的關(guān)鍵環(huán)節(jié),即通過電性量測和熱點偵測的方式來對芯片的短路或漏進行電性失效定位。
失效分析(FA)又稱故障分析,在半導(dǎo)體上游設(shè)計、中游晶圓制造、下游封測等環(huán)節(jié)均有涉及。根據(jù)級別不同,失效分析分為電性失效分析(EFA)和物理失效分析(PFA),電性失效分析又分為熱失效分析、光失效分析。
根據(jù)國家統(tǒng)計局及海關(guān)總署數(shù)據(jù)顯示,2025年1-8月,我國芯片累計產(chǎn)量達3429.1億塊,同比增長8.8%;芯片累計出口量2330億個,同比增長20.8%。近年來,我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,這為電性失效分析行業(yè)帶來了廣闊需求空間。
電性失效分析涉及設(shè)備包括鎖相紅外顯微鏡、微光顯微鏡(EMMI)、砷化鎵銦微光顯微鏡(InGaAs EMMI)、激光誘導(dǎo)阻值變化顯微鏡(OBIRCH)等。隨著半導(dǎo)體技術(shù)節(jié)點向更小制程推進,半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)復(fù)雜性、精細化程度越來越高,市場對失效分析設(shè)備的響應(yīng)速度、檢測精度、分析能力等要求正不斷提升。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2025-2029年中國電性失效分析(EFA)市場行情監(jiān)測及未來發(fā)展前景研究報告》顯示,受紅外探測技術(shù)限制,我國電性失效分析設(shè)備發(fā)展緩慢,行業(yè)長期由美國賽默飛、日本濱松、日立等國外企業(yè)壟斷。2022年以來,美國對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的制裁持續(xù)加大,部分進口電性失效分析設(shè)備供應(yīng)受限,倒逼我國企業(yè)加快了自主創(chuàng)新步伐。
我國電性失效分析市場布局企業(yè)包括安徽凌光紅外科技有限公司、卓譜微(上海)電子科技有限公司、普源精電科技股份有限公司等。凌光紅外是國內(nèi)唯一研發(fā)成功并可對標進口半導(dǎo)體電性失效分析設(shè)備的公司,2025年凌光紅外完成數(shù)千萬元人民幣A++輪融資,融資將用于擴大電性失效分析儀器量產(chǎn)規(guī)模、海外銷售體系建設(shè)等,預(yù)計未來5年,凌光紅外在國內(nèi)電性失效分析市場的占有率將達50%以上,海外銷售體系也將持續(xù)完善。
新思界
行業(yè)分析人士表示,電性失效分析在確保芯片良率、提高產(chǎn)品質(zhì)量、提升制程穩(wěn)定性、加快產(chǎn)品迭代速度等方面發(fā)揮著重要作用。國外企業(yè)長期壟斷電性失效分析市場,但受國際貿(mào)易摩擦加劇、核心技術(shù)突破等因素驅(qū)動,近年來,我國電性失效分析國產(chǎn)化趨勢明顯,憑借高性價比、供貨渠道短、售后及時等優(yōu)勢,未來本土企業(yè)將占據(jù)更多市場份額。
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