光致產酸劑(PAG)又稱光致酸產生劑,簡稱光酸,是一類在光、射線、等離子體等輻射下能分解生成特定酸的物質。
光致產酸劑可分為離子型光致產酸劑、非離子型光致產酸劑兩大類,以二芳基鎓碘鹽/二芳基磺酸鹽為代表的離子型光致產酸劑應用較廣泛。非離子型光致產酸劑以磺酸酯類化合物為主要類型,其在有機溶劑、聚合物薄膜中溶解度較高,但熱穩定性、光敏感性較差。
作為光敏材料,光致產酸劑主要應用在半導體光刻膠、熱敏CTP膠、光固化涂料等領域。光刻膠是半導體核心材料之一,近年來,得益于國家政策扶持、核心技術突破,我國半導體產業發展加速,半導體光刻膠市場規模隨之擴大,2023年達百億元以上。半導體光刻膠主要由光敏材料、樹脂、溶劑等組成,隨著光刻膠市場發展,半導體光刻膠用光敏材料市場需求空間隨之擴大。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年中國光致產酸劑(PAG)行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示,光致產酸劑、感光化合物(PAC)是目前半導體光刻膠用光敏材料主要類型,其中光致產酸劑主要應用在聚對羥基苯乙烯樹脂體系(KrF光刻膠)、聚甲基丙烯酸酯樹脂體系(ArF光刻膠)、EUV光刻膠等化學放大型體光刻膠中,2024年我國KrF、ArF、EUV等光刻膠所用光致產酸劑市場需求空間將達14.5億元。
光致產酸劑行業存在一定的技術、研發壁壘,市場集中度較高,目前日美企業占據全球市場主導,包括賀利氏電子化學材料公司、日本San-Apro公司、東洋合成工業株式會社、光純藥株式會社、日本富士膠片株式會社等企業。長期以來,我國光致產酸劑市場需求依賴進口,進口光致產酸劑價格高、供貨周期長,嚴重制約了國產半導體光刻膠的發展。
近年來,在國產替代背景下,我國光致產酸劑產業化逐漸實現突破,相關企業包括威邁芯材、萬潤股份、強力新材、徐州博康等。目前萬潤股份的光致產酸劑已實現中試產品供應,威邁芯材已累計交付數十款光致產酸劑(PAG)產品,其“浸沒式氟化氬光刻膠用光致產酸劑”獲得了“CIIF新材料獎”。
新思界
行業分析人士表示,光致產酸劑是重要的半導體光刻膠用光敏材料,隨著KrF、ArF等半導體光刻膠生產規模擴大,光致產酸劑市場需求將持續釋放,行業發展空間廣闊。光致產酸劑技術壁壘高,全球市場由日美企業主導,目前我國已實現光致產酸劑產業化突破,在國產替代背景下,國產光致產酸劑將迎來廣闊發展空間。
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