電子級三氟化氮，又稱電子級NF3，是一種重要含氟電子特氣。電子級NF3具備化學(xué)穩(wěn)定性好、毒性低、腐蝕性高等特點，在微電子制造領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。
近年來，國家對于電子級NF3行業(yè)發(fā)展高度重視，已出臺多項鼓勵政策，主要包括《工業(yè)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)分類（2023）》、《重點新材料首批次應(yīng)用示范指導(dǎo)目錄（2024年本）》、《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)指導(dǎo)調(diào)整目錄（2024年本）》等。未來伴隨國家政策支持，我國電子級NF3行業(yè)發(fā)展速度有望加快。
電子級NF3制備方法包括高溫反應(yīng)法、電解法、氮氣氫氟酸法、直接化合法等。直接化合法指以氨氣、氟氣、氟化氫銨等為原材料，在一定溫度、壓力條件下充分反應(yīng)，進(jìn)而制得成品，該法具有操作流程簡單、原材料易得等優(yōu)勢；電解法又稱氟化氫銨熔融鹽電解法，該法具有成品收率高、技術(shù)成熟度高等優(yōu)勢，為電子級NF3主流制備方法。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2024-2029年中國電子級三氟化氮（電子級NF3）行業(yè)市場深度調(diào)研及發(fā)展前景預(yù)測報告》顯示，電子級NF3具備選擇性高以及蝕刻速率高等優(yōu)勢，在微電子制造領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。電子級NF3作為等離子蝕刻氣體，能有效去除微電子器件表面多余的氧化硅、多晶硅等雜質(zhì)。近年來，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向我國大陸轉(zhuǎn)移，我國集成電路等微電子器件產(chǎn)量持續(xù)提升。據(jù)國家工信部統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2024年前三季度我國集成電路產(chǎn)量達(dá)到3156億塊，同比增長26%。未來伴隨應(yīng)用需求增長，我國電子級NF3行業(yè)發(fā)展空間有望擴(kuò)展。
我國電子級NF3主要生產(chǎn)商包括江蘇南大光電材料股份有限公司、南京德長新材料有限公司、華特氣體股份有限公司、廣州廣鋼氣體能源股份有限公司、昊華化工科技集團(tuán)股份有限公司等。南大光電主營產(chǎn)品包括含氟電子特氣、含氫電子特氣等，目前公司正在積極推進(jìn)8400噸高純電子級三氟化氮生產(chǎn)項目建設(shè)。據(jù)南大光電企業(yè)半年報顯示，2024年上半年，公司特氣產(chǎn)品實現(xiàn)營收7.2億元。
新思界
行業(yè)分析人士表示，電子級NF3作為電子特氣，在微電子制造領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景，未來伴隨下游行業(yè)發(fā)展速度加快，其市場空間將進(jìn)一步擴(kuò)展。受益于國家政策支持以及技術(shù)進(jìn)步，我國電子級NF3行業(yè)發(fā)展態(tài)勢持續(xù)向好。預(yù)計未來一段時間，隨著本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力，我國電子級NF3產(chǎn)能將進(jìn)一步擴(kuò)張。
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