六甲基二硅氮烷(HMDS)是一種無(wú)色無(wú)毒、略帶胺味的透明液體。電子級(jí)六甲基二硅氮烷是在普通六甲基二硅氮烷基礎(chǔ)上,經(jīng)過(guò)特殊提純工藝,使其純度達(dá)到國(guó)際化學(xué)電子品Semi-C7/C8/C12質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的高純度產(chǎn)品,能夠滿足半導(dǎo)體等高端領(lǐng)域?qū)Σ牧霞兌鹊膰?yán)格要求。
作為光致刻蝕劑的粘結(jié)助劑,電子級(jí)六甲基二硅氮烷可促進(jìn)光刻膠在二氧化硅以及其他難粘結(jié)物質(zhì)表面上的粘結(jié),有助于提高光刻精度和圖案轉(zhuǎn)移的準(zhǔn)確性,對(duì)芯片制造等工藝至關(guān)重要。此外,電子級(jí)六甲基二硅氮烷可用作氣相法白炭黑表面疏水處理劑及提供N原子的試劑,還可用于制備有機(jī)硅化合物等。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2025-2030年中國(guó)電子級(jí)六甲基二硅氮烷行業(yè)市場(chǎng)深度調(diào)研及發(fā)展前景預(yù)測(cè)報(bào)告》顯示,隨著5G通信、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的快速發(fā)展,半導(dǎo)體市場(chǎng)規(guī)模不斷擴(kuò)大,芯片制造技術(shù)也在持續(xù)進(jìn)步,對(duì)電子級(jí)六甲基二硅氮烷的需求日益增加。例如,先進(jìn)制程的芯片制造需要更高精度的光刻技術(shù),對(duì)光刻膠及其粘結(jié)助劑的性能提出了更高要求,電子級(jí)六甲基二硅氮烷作為關(guān)鍵材料之一,市場(chǎng)需求也隨之水漲船高。
我國(guó)電子級(jí)六甲基二硅氮烷主要生產(chǎn)企業(yè)有新亞強(qiáng)硅化學(xué)股份有限公司、山東博苑醫(yī)藥化學(xué)股份有限公司等。其中,新亞強(qiáng)硅化學(xué)股份有限公司是全球主要的甲基和乙烯基功能性助劑、乙烯基和苯基特種單體生產(chǎn)商,其核心產(chǎn)品六甲基二硅氮烷被國(guó)家工信部認(rèn)定為制造業(yè)單項(xiàng)冠軍產(chǎn)品,產(chǎn)品純度可達(dá)到99.95%。
目前,電子級(jí)六甲基二硅氮烷的生產(chǎn)關(guān)鍵在于提純技術(shù)。近年來(lái),一些國(guó)內(nèi)企業(yè)通過(guò)自主研發(fā)和技術(shù)創(chuàng)新,如采用多級(jí)微孔膜耦合吸附技術(shù)、硅氮烷亞沸點(diǎn)精餾操作等,有效脫除了金屬離子和輕、重組分雜質(zhì),提高了電子級(jí)六甲基二硅氮烷產(chǎn)品純度。
隨著國(guó)內(nèi)企業(yè)技術(shù)水平的不斷提高,電子級(jí)六甲基二硅氮烷的國(guó)產(chǎn)化替代進(jìn)程正在加速,如今國(guó)內(nèi)企業(yè)已具備了生產(chǎn)高品質(zhì)產(chǎn)品的能力,逐漸在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)占據(jù)一席之地,不僅降低了國(guó)內(nèi)相關(guān)企業(yè)的采購(gòu)成本,也提高了供應(yīng)鏈的安全性和穩(wěn)定性。
新思界
產(chǎn)業(yè)研究人士認(rèn)為,電子級(jí)六甲基二硅氮烷市場(chǎng)前景廣闊,隨著半導(dǎo)體等行業(yè)的快速發(fā)展,市場(chǎng)需求將持續(xù)增長(zhǎng)。未來(lái),能夠生產(chǎn)更高純度、更低雜質(zhì)含量的高端電子級(jí)六甲基二硅氮烷產(chǎn)品的企業(yè)將更具市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力,市場(chǎng)需求也將進(jìn)一步向高端產(chǎn)品傾斜。
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