光酸(PGA)又稱光致產(chǎn)酸劑,主要用于在化學(xué)放大型體光刻膠中,包括KrF光刻膠(聚對羥基苯乙烯樹脂體系)和ArF光刻膠(聚甲基丙烯酸酯樹脂體系)、EUV光刻膠,常溫下為固態(tài)。
光酸(PAG)產(chǎn)品類型眾多,主要企業(yè)都開發(fā)了不同種類的產(chǎn)品,例如,東洋合成工業(yè)株式會社光酸(PAG)產(chǎn)品有TPS-TF、DTBPI-PFBS、TPS-CS、TPS-PFBS等多個種類;賀利氏(Heraeus)開發(fā)了一系列適用于i線、g線、ArF等光刻膠產(chǎn)品的光酸(PAG),包括NIT、NIN、ILP-110、ILP-118、PA-480、PA-411、PA-528等。
近些年,隨著供給側(cè)改革政策推進(jìn),半導(dǎo)體光刻膠的本土化發(fā)展勢在必行,良好的市場前景吸引了許多投資者及相關(guān)機(jī)構(gòu)對半導(dǎo)體光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈的密切關(guān)注,光酸(PAG)研究越來越受重視,相關(guān)專利不斷涌現(xiàn),如蘇州瑞紅電子化學(xué)品有限公司公布”一種雜環(huán)多官光致產(chǎn)酸劑及其制備方法和制得的化學(xué)增幅型光刻膠“,該專利解決了傳統(tǒng)的光致產(chǎn)酸劑產(chǎn)酸效率低,光子利用率低的問題;寧波南大光電材料有限公司公布”可聚合型含雙鎓鹽結(jié)構(gòu)的光致產(chǎn)酸劑、制備方法及光刻膠“,該專利適用于多種波長的光源。
近年來,國內(nèi)光酸(PGA)投資項目增多,中節(jié)能萬潤、蘇州威邁正在緊鑼密鼓的推進(jìn)光酸(PAG)項目建設(shè)。中節(jié)能萬潤目前已經(jīng)完成了光酸(PAG)的開發(fā),正在展開下游市場推廣;蘇州威邁韓國子公司具備光酸(PAG)生產(chǎn)能力,目前已經(jīng)在國內(nèi)完成了億元融資,計劃在合肥籌建量產(chǎn)工廠,隨著前者產(chǎn)品正式上市,以及后者實(shí)現(xiàn)本土化生產(chǎn),中國光酸(PAG)行業(yè)企業(yè)將面臨更激烈市場競爭。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的
《2025年全球及中國光酸(PAG)產(chǎn)業(yè)深度研究報告》顯示,全球光酸(PAG)市場具有高度壟斷性,由日本和美國企業(yè)主導(dǎo),美國企業(yè)主要是賀利氏電子化學(xué)材料公司在美國俄亥俄州的生產(chǎn)基地;日本企業(yè)主要有東洋合成工業(yè)株式會社、FJIFILM和光純藥株式會社、San-Apro株式會社等。其中,東洋合成工業(yè)株式會社為全球最大的光酸(PAG)生產(chǎn)廠商,其憑借過去數(shù)十年來的技術(shù)積累和沉淀,已經(jīng)構(gòu)筑起較強(qiáng)的競爭優(yōu)勢,占據(jù)60%以上的市場份額。
新思界
產(chǎn)業(yè)研究員認(rèn)為,光酸(PAG)主要用于生產(chǎn)半導(dǎo)體光刻膠。雖然中國是半導(dǎo)體光刻膠需求大國,但國內(nèi)半導(dǎo)體光刻膠研發(fā)時間短,國產(chǎn)化程度較低。蘇州晶瑞、北京科華等企業(yè)雖然實(shí)現(xiàn)了g線/i線光刻膠的量產(chǎn),但在技術(shù)積累、產(chǎn)能建設(shè)、品牌形象等方面與國際領(lǐng)先企業(yè)均有較大差距,國產(chǎn)化率較低。未來隨著更多廠家KrF光刻膠、ArF光刻膠研發(fā)完畢順利完成客戶驗(yàn)證后,國產(chǎn)半導(dǎo)體光刻膠國產(chǎn)替代加速推進(jìn),將為光酸(PAG)行業(yè)帶來極大的發(fā)展動力。
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