電子級甲基三氯硅烷，是一種高純度有機硅化合物，其純度通常達到99.99%以上，金屬離子含量低于1ppb。
甲基三氯硅烷（MTS），又稱三氯甲基硅烷，化學式為CH3Cl3Si，外觀呈無色或淡黃色透明液體，溶于苯、乙醚，其制備工藝包括氣相合成法、液相合成法等。甲基三氯硅烷是有機硅工業的核心單體，可用于硅樹脂、硅油、硅橡膠等材料的合成，電子、涂料、橡膠等為終端應用領域。電子級甲基三氯硅烷純度更高，是專用于電子行業的一種材料。
在電子領域中，電子級甲基三氯硅烷主要用作電子封裝材料。在政府出臺多項政策提供大力支持、集成電路等多領域突破關鍵技術、下游行業需求日益旺盛利好下，我國電子行業發展趨勢持續向好。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025-2029年全球及中國電子級甲基三氯硅烷行業研究及十五五規劃分析報告》顯示，根據工業和信息化部數據顯示，2025上半年，我國規模以上電子信息制造業增加值同比增長11.1%，同時實現營業收入為8.04萬億元，同比增長9.4%，實現利潤總額為3024億元，同比增長3.5%。我國電子行業維持增長，為電子級甲基三氯硅烷等相關原材料需求釋放提供有利條件。
我國電子級甲基三氯硅烷市場生產企業包括和遠潛江電子材料有限公司、保定市北方特種氣體有限公司、沁陽國順硅源光電氣體有限公司等。2024年6月，和遠潛江電子材料有限公司“年產1300噸甲基三氯硅烷項目”環評文件受理公示，其中包括1000噸/年電子級甲基三氯硅烷。
2025年7月，西安西飛領航科技有限公司、保定市北方特種氣體有限公司投資實施“硅基新材料產業鏈一體化項目”，其中包括年產5000噸電子級硅烷、3000噸電子級甲基三氯硅烷，該項目將分兩期建設。隨著相關企業加快進行產能布局，我國電子級甲基三氯硅烷行業產能將進一步擴大。
新思界
行業分析人士表示，電子級甲基三氯硅烷是甲基三氯硅烷行業主要細分品類，其純度高、性能優異，在電子領域具有極大應用價值。伴隨著生產技術進步、電子行業持續增長，我國電子級甲基三氯硅烷市場仍具有發展空間。目前我國已有多個企業布局電子級甲基三氯硅烷生產賽道，預計未來該行業產能規模將不斷擴大，而具有大規模生產、高產品品質優勢的企業有望占據更大市場空間。
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