六氯乙硅烷（HCDS），化學式為Si2Cl6，是一種乙硅烷的六氯取代物。六氯乙硅烷外觀呈無色液體，具備化學穩(wěn)定性好、揮發(fā)性低、薄膜沉積性佳等特點，在半導體制造、光纖制造、光伏發(fā)電等眾多領域需求旺盛。
近年來，為規(guī)范市場發(fā)展，我國有關部門已出臺多項六氯乙硅烷相關行業(yè)標準及團體標準，主要包括《GB/T 42720-2023 電子特氣 六氯乙硅烷》、《YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法》、《T/CNIA 0114—2021 改良西門子法多晶硅副產品 六氯乙硅烷》等。未來隨著行業(yè)標準不斷完善，我國六氯乙硅烷質量將有所提升。
提純?yōu)榱纫夜柰橹苽潢P鍵環(huán)節(jié)，其主要提純方法包括萃取精餾法、吸附聯(lián)合精餾法、反應精餾法以及精餾提純法等。萃取精餾法指以氯硅烷渣漿為主要原材料，加入正十三烷等萃取劑，經萃取工藝、干燥分離、精餾提純等流程制得成品；吸附聯(lián)合精餾法可用于制備超高純度六氯乙硅烷；反應精餾法指以硅粉、四氯化硅（SiCl₄）為主要原材料，經加熱、充分反應、冷卻、過濾以及蒸餾等流程制得成品。
六氯乙硅烷在半導體制造、光纖制造、光伏發(fā)電等眾多領域需求旺盛。在半導體制造領域，六氯乙硅烷作為電子特氣，可用于集成電路化學氣相沉積（CVD）工藝中。近年來，隨著我國半導體產業(yè)發(fā)展速度加快，集成電路產量持續(xù)增長。據國家工信部統(tǒng)計數據顯示，2025年1-7月，我國集成電路產量達到2946億塊，同比增長10.4%。根據新思界產業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025-2029年六氯乙硅烷（HCDS）行業(yè)深度市場調研及投資策略建議報告》顯示，隨著下游行業(yè)發(fā)展速度加快，我國六氯乙硅烷市場規(guī)模不斷增長，2024年達到近25億美元。
全球六氯乙硅烷主要生產企業(yè)包括德國瓦克化學公司、德國贏創(chuàng)工業(yè)集團、法國液化空氣集團等。在本土方面，南大光電、金宏氣體、華特電子、正帆科技、興洋科技、中硅高科、新硅科技等為我國六氯乙硅烷市場主要參與者。
新思界
行業(yè)分析人士表示，六氯乙硅烷在半導體制造領域應用較多，未來伴隨市場需求逐漸釋放，其行業(yè)發(fā)展空間將得到進一步擴展。與海外發(fā)達國家相比，我國六氯乙硅烷行業(yè)起步較晚，但發(fā)展勢頭迅猛，已有多家企業(yè)具備其規(guī)模化生產實力。未來隨著技術進步，我國六氯乙硅烷行業(yè)景氣度將進一步提升。
關鍵字：
