二羰基環戊二烯基鈷,也稱二羰基環戊二烯鈷、CpCo(CO)2,化學式C7H5CoO2,分子量180.047,CAS號12078-25-0,常溫下外觀為暗紅色液體狀,有毒性,密度1.35g/cm3,熔點-22℃,沸點139-140℃,閃點26℃,不溶于水,可與多種有機溶劑混溶,常溫常壓下性質穩定,但對空氣、熱、紫外光敏感,具有易燃性,儲存需充氬氣密封,并遠離火種、熱源。
根據新思界產業研究中心發布的
《2025年中國二羰基環戊二烯基鈷市場專項調研及企業“十五五規劃”建議報告》顯示,二羰基環戊二烯基鈷在多種有機反應過程中具有優異的催化活性,特別是在C-H鍵活化反應中具有高效性,主要用作有機合成試劑,應用在烷烴氧化、炔烴環三聚、乙炔低聚、內環加成、烯烴環化等反應過程中。二羰基環戊二烯基鈷也可以實現C-H鍵的羥基化、氨基化等官能化反應,以及C-H鍵與烯烴、炔烴的偶聯反應。二羰基環戊二烯基鈷可以用來合成苯并環丁烯、環戊二烯酮、雌酚酮等化合物。
二羰基環戊二烯基鈷及其衍生物可以應用在半導體產業中,利用原子層沉積(ALD)工藝來沉積得到氧化鈷薄膜。例如利用二羰基環戊二烯基鈷的衍生物二羰基三甲基硅基環戊二烯基鈷作為前驅體,采用ALD技術可以制備厚度可控、大尺寸、均勻性好的氧化鈷薄膜。中山大學申請的“一種鈷基氧化物薄膜的原子層沉積方法”專利,即采用二羰基三甲基硅基環戊二烯基鈷為金屬前驅體,采用ALD技術制備氧化鈷薄膜。
2023年以來,我國二羰基環戊二烯基鈷合成方法相關專利不斷增多,主要有安徽亞格盛電子新材料有限公司、全椒亞格泰電子新材料科技有限公司的“一種制備二羰基環戊二烯基鈷的方法”與“一種金屬前驅體有機羰基鈷類化合物的合成方法及裝置”,上海慶建廷科技有限公司的“一種二羰基環戊二烯基鈷的制備方法”等。其中,“一種金屬前驅體有機羰基鈷類化合物的合成方法及裝置”專利特別適用于二羰基環戊二烯基鈷的合成。
新思界
行業分析人士表示,現階段,我國二羰基環戊二烯基鈷供應企業主要有南京大學材料MO源研究開發中心、合肥安德科銘半導體科技有限公司、安徽博泰電子材料有限公司、蘇州源展材料科技有限公司等。此外,浙江先導微電子科技有限公司規劃建設的“集成電路關鍵材料基地產業化擴建項目”已經進入環評價階段,項目分兩批次建設,第二批次建設內容中包括5噸/年的二羰基環戊二烯鈷生產能力。
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