按照涂覆位置不同,抗反射涂層(ARC)可分為底部抗反射涂層(BARC)以及頂部抗反射涂層(TARC)。頂部抗反射涂層,指應用于光刻膠上表面的光學薄膜,其利用光學干涉原理,可有效控制光反射。頂部抗反射涂層需具備透明度高、光阻兼容性好、工藝適應性強等特點,在半導體制造以及顯示技術領域應用較多。
頂部抗反射涂層通常由含氟聚合物為主要原材料制成。含氟聚合物普遍存在原子折射率小、分子體積大等特點,適用于光刻工藝中。近年來,隨著技術成熟度提升,我國含氟聚合物產量及質量不斷提高,這將為頂部抗反射涂層行業發展奠定良好基礎。
底部抗反射涂層(BARC)具備反射效果好、能避免異常曝光、改善基底平坦性等特點,為抗反射涂層市場主流產品,占比達到近七成。受應用場景單一、技術迭代速度較慢等因素限制,我國頂部抗反射涂層市場占比較低,這是行業發展面臨的主要挑戰。
根據新思界產業研究中心發布的《
2025-2030年中國頂部抗反射涂層(TARC)行業市場深度調研及發展前景預測報告》顯示,頂部抗反射涂層主要應用于半導體制造以及顯示技術領域。在半導體制造領域,頂部抗反射涂層可應用于集成電路光刻工藝中。近年來,隨著我國半導體產業發展速度加快,集成電路產量持續增長。據國家工信部統計數據顯示,2025年前三季度,我國集成電路產量達到3819億塊,同比增長8.6%。未來隨著下游行業發展速度加快,頂部抗反射涂層市場空間有望擴展。
全球頂部抗反射涂層市場主要參與者包括美國布魯爾科技股份有限公司(Brewer Science)、日本日產化學工業株式會社(Nissan Chemical)、日本信越化學工業株式會社(Shin-Etsu Chemical)以及德國默克集團(Merck)等。在本土方面,恒坤新材、淮顯光電、菲沃泰等為我國頂部抗反射涂層行業主要布局企業。恒坤新材專注于光刻材料和前驅體材料的研發、生產和銷售,已掌握頂部抗反射涂層核心制備技術。
新思界
行業分析人士表示,隨著我國半導體行業發展速度加快,頂部抗反射涂層作為光刻工藝材料,應用需求不斷增長。在市場競爭方面,恒坤新材為我國頂部抗反射涂層代表企業。目前,我國頂部抗反射涂層行業發展仍面臨一定挑戰,未來隨著本土企業持續發力以及技術進步,其市場占比將得到進一步提升。
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