半導體溫控設備，又稱半導體專用溫控設備，指在半導體制造過程中用于控制溫度的關鍵設備。半導體溫控設備具有工作溫度范圍寬、響應速度快、精度高、易于集成、節能環保等優勢，在薄膜沉積、蝕刻、光刻、退火、晶體生長等半導體工藝中應用廣泛。
半導體溫控設備主要包括紅外測溫儀、熱電偶、溫度控制器、加熱臺、冷卻臺、熱交換器、冷卻系統、溫控腔室等。溫度控制器能夠調節和監控溫度，具有體積小、使用壽命長、噪音小、精度高等優勢，為半導體溫控設備代表產品，在半導體物理氣相沉積（PVD）以及干法刻蝕工藝中應用較多。未來伴隨細分產品應用需求增長，我國半導體溫控設備行業發展速度將進一步加快。
半導體溫控設備屬于半導體專用設備，其溫度控制范圍為-70℃~120℃，在集成電路制備環節需求旺盛。受益于技術進步以及應用需求增長，我國集成電路產量不斷提升。據國家工信部統計數據顯示，2023年我國集成電路產量達到3514億塊，同比增長6.9%。半導體溫控設備能夠為集成電路制備提供穩定溫度環境，提升其良品率。
根據新思界產業研究中心發布的《
2024-2029年半導體溫控設備行業市場深度調研及投資前景預測分析報告》顯示，隨著下游行業發展速度加快，我國半導體溫控設備市場空間持續擴展。2023年我國半導體溫控設備市場規模達到近15億元，同比增長超過10%。預計未來一段時間，伴隨半導體制造技術不斷進步，我國半導體溫控設備市場規模還將進一步增長，到2028年將突破25億元。
我國半導體溫控設備行業集中度較高，主要生產商包括同飛股份、京儀裝備等。京儀裝備具備單通道、雙通道以及三通道半導體溫控設備批量生產能力，已掌握節能技術、制冷控制技術以及精密控溫技術等半導體溫控設備核心技術，占據我國市場近三成份額，長鑫科技、大連英特爾、華虹集團、長江存儲等知名半導體制造商為其主要客戶。
新思界
行業分析人士表示，受益于我國半導體制造技術不斷進步，半導體溫控設備行業發展速度有所加快。在細分產品方面，溫度控制器綜合性能優良，為半導體溫控設備代表產品。在市場競爭方面，我國半導體溫控設備行業集中度較高，京儀裝備作為頭部優勢企業，占據市場主要份額。
