精密測(cè)量需求旺盛 激光干涉儀市場(chǎng)發(fā)展空間廣闊

　　激光干涉儀是以激光波長(zhǎng)為測(cè)量基準(zhǔn)的一種高精度測(cè)量。激光頭是激光干涉儀的核心部分，其主要由激光器、光電二極管、滑動(dòng)單元、反射鏡等組成，其中激光器用于產(chǎn)生激光束，激光束具有良好的單色性和相干性。

　　激光干涉儀類型多樣，常用類型包括法布里-珀羅干涉儀、邁克爾遜干涉儀、雅各比干涉儀、菲索干涉儀等。激光干涉儀是基于激光的干涉效應(yīng)進(jìn)行測(cè)量和分析，具有測(cè)量精度高、抗干擾能力強(qiáng)、速度快、分辨率高等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用在科學(xué)研究、半導(dǎo)體制造、精密測(cè)量、光學(xué)元件加工等領(lǐng)域。

　　根據(jù)技術(shù)特點(diǎn)不同，激光干涉儀分為增量式激光干涉儀、絕對(duì)式激光干涉儀，其中增量式激光干涉儀又分為單頻激光干涉儀、雙頻激光干涉儀。單頻激光干涉儀的激光器發(fā)出單一頻率的激光束，雙頻激光干涉儀的激光器可發(fā)出兩個(gè)頻率的激光束。

　　激光干涉儀所用激光器以HeNe激光器（氦氖激光器）為主，我國(guó)HeNe激光器供應(yīng)商有北京鐳測(cè)科技有限公司（鐳測(cè)科技）、江西連勝科技股份有限公司等，其中鐳測(cè)科技的“可伐-玻璃組裝式”結(jié)構(gòu)的HeNe激光器，結(jié)束了HeNe激光器靠玻璃吹制的歷史。

　　根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2024-2028年中國(guó)激光干涉儀市場(chǎng)行情監(jiān)測(cè)及未來(lái)發(fā)展前景研究報(bào)告》顯示，在納米制造時(shí)代下，激光干涉儀應(yīng)用空間廣闊。預(yù)計(jì)未來(lái)五年，全球激光干涉儀市場(chǎng)將以7.0%以上的年均復(fù)合增長(zhǎng)率增長(zhǎng)，并將于2029年達(dá)到4.6億美元的市場(chǎng)規(guī)模。

　　在全球范圍內(nèi)，歐美地區(qū)占據(jù)激光干涉儀市場(chǎng)主要份額，尤其是北美地區(qū)。整體來(lái)看，激光干涉儀企業(yè)包括美國(guó)ZYGO公司、美國(guó)QED Technologies、美國(guó)Keysight公司、英國(guó)Renishaw plc、德國(guó)ZEISS Group、荷蘭阿斯麥（ASML）等。

　　激光干涉儀的自主化研制，對(duì)促進(jìn)我國(guó)高端裝備國(guó)產(chǎn)化、智能化發(fā)展具有重要意義。隨著技術(shù)突破，國(guó)內(nèi)激光干涉儀市場(chǎng)也呈現(xiàn)出百花齊放的態(tài)勢(shì)，相關(guān)企業(yè)包括鐳測(cè)科技、蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司、大連科德數(shù)控股份有限公司、陜西鉉光未來(lái)電子科技有限公司、上海拍頻光電科技有限公司等。

　　新思界行業(yè)分析人士表示，激光干涉儀是國(guó)家長(zhǎng)度計(jì)量溯源體系中的標(biāo)準(zhǔn)儀器，在工業(yè)母機(jī)、光刻機(jī)、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、位移傳感器、水準(zhǔn)標(biāo)尺檢定裝置、大長(zhǎng)度校準(zhǔn)裝置等精密儀器的直線度、平行度、平整度指標(biāo)檢測(cè)中應(yīng)用廣泛。在納米制造時(shí)代下，精密測(cè)量需求旺盛，激光干涉儀應(yīng)用空間廣闊。

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