等離子體射頻電源系統(tǒng)，指能夠產(chǎn)生和維護(hù)等離子體的高頻交流電源系統(tǒng)。等離子體射頻電源系統(tǒng)的工作頻率通常介于2MHz至60MHz之間，具備集成度高、控制精度高、可實(shí)時進(jìn)行阻抗匹配等優(yōu)勢，在半導(dǎo)體薄膜、光伏薄膜、精密光學(xué)鍍膜以及顯示面板鍍膜等領(lǐng)域擁有巨大應(yīng)用潛力。
全球等離子體射頻電源系統(tǒng)市場主要集中于歐美以及日本等國，代表企業(yè)包括美國AE公司、美國MKS公司、日本DAIHEN株式會社、德國霍廷格電子有限公司（Hüttinger GmbH）等。AE專注于等離子體射頻電源系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，占據(jù)全球市場較大份額。在本土方面，恒運(yùn)昌、華丞電子以及英杰電氣等為我國等離子體射頻電源系統(tǒng)主要生產(chǎn)商。據(jù)恒運(yùn)昌企業(yè)年報顯示，2024年公司等離子體射頻電源系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)營收42562萬元。
根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《
2025年中國等離子體射頻電源系統(tǒng)市場專項調(diào)研及企業(yè)“十五五規(guī)劃”建議報告》顯示，等離子體射頻電源系統(tǒng)在眾多領(lǐng)域擁有巨大應(yīng)用潛力，半導(dǎo)體領(lǐng)域為其主要需求端。離子體射頻電源系統(tǒng)可應(yīng)用于半導(dǎo)體薄膜沉積以及刻蝕等環(huán)節(jié)，對于晶圓良率以及生產(chǎn)效率起到重要作用。近年來，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向我國大陸轉(zhuǎn)移，我國晶圓產(chǎn)能不斷擴(kuò)張，這將為等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)發(fā)展帶來機(jī)遇。
受益于應(yīng)用需求不斷增長，等離子體射頻電源系統(tǒng)行業(yè)發(fā)展空間持續(xù)擴(kuò)展。2024年我國等離子體射頻電源系統(tǒng)市場規(guī)模達(dá)到近130億元，同比增長超過15%。未來隨著技術(shù)進(jìn)步以及應(yīng)用范圍不斷擴(kuò)展，等離子體射頻電源系統(tǒng)市場規(guī)模還將進(jìn)一步增長。預(yù)計到2030年，我國等離子體射頻電源系統(tǒng)市場規(guī)模將突破300億元。
國家對于半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展高度重視，已出臺多項相關(guān)政策，主要包括《“十四五”數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展規(guī)劃》、《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2024年本）》、《中共中央關(guān)于進(jìn)一步全面深化改革 推進(jìn)中國式現(xiàn)代化的決定》等。在此背景下，等離子體射頻電源系統(tǒng)作為半導(dǎo)體設(shè)備重要組成部分，行業(yè)發(fā)展速度將進(jìn)一步加快。
新思界
行業(yè)分析人士表示，隨著半導(dǎo)體行業(yè)景氣度提升，等離子體射頻電源系統(tǒng)市場空間不斷擴(kuò)展。在行業(yè)發(fā)展初期，海外國家長期占據(jù)全球等離子體射頻電源系統(tǒng)市場主導(dǎo)地位。近年來，隨著本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力，我國等離子體射頻電源系統(tǒng)技術(shù)水平不斷提升。
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